公开(公告)号：CN103930988B

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201280055739.1

申请日：2012-09-14

Applicant: 伊文萨思公司

Inventor： B·哈巴 ,  K·德塞

IPC: H01L23/498 ,  H01L21/48

CPC classification number: H01L23/49827 ,  H01L21/4857 ,  H01L21/486 ,  H01L23/498 ,  H01L23/49811 ,  H01L23/49833 ,  H01L24/17 ,  H01L24/73 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/17104 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/4911 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/19107 ,  Y10T29/49128 ,  Y10T428/24521 ,  Y10T428/24802 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00012

Abstract: 一种互连部件(10)包括第一支撑部分(12)并且具有与第一支撑部分的表面基本上垂直地经过第一支撑部分延伸的多个第一传导过孔(22)，从而每个过孔具有与第一表面(14)相邻的第一端(26)和与第二表面(16)相邻的第二端(24)。第二支撑部分(30)具有与第二支撑部分的表面基本上垂直地经过第二支撑部分延伸的多个第二传导过孔(40)，从而每个过孔具有与第一表面(34)相邻的第一端(44)和与第二表面(32)相邻的第二端(42)。重新分布层(50)设置于第一和第二支撑部分的第二表面之间，从而电连接第一过孔中的至少一些第一过孔与第二过孔中的至少一些第二过孔。第一和第二支撑部分可以具有小于12ppm/℃的CTE。

公开(公告)号：CN103930988A

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN201280055739.1

申请日：2012-09-14

Applicant: 伊文萨思公司

Inventor： B·哈巴 ,  K·德塞

IPC: H01L23/498 ,  H01L21/48

CPC classification number: H01L23/49827 ,  H01L21/4857 ,  H01L21/486 ,  H01L23/498 ,  H01L23/49811 ,  H01L23/49833 ,  H01L24/17 ,  H01L24/73 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/17104 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/4911 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/19107 ,  Y10T29/49128 ,  Y10T428/24521 ,  Y10T428/24802 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00012

Abstract: 一种互连部件(10)包括第一支撑部分(12)并且具有与第一支撑部分的表面基本上垂直地经过第一支撑部分延伸的多个第一传导过孔(22)，从而每个过孔具有与第一表面(14)相邻的第一端(26)和与第二表面(16)相邻的第二端(24)。第二支撑部分(30)具有与第二支撑部分的表面基本上垂直地经过第二支撑部分延伸的多个第二传导过孔(40)，从而每个过孔具有与第一表面(34)相邻的第一端(44)和与第二表面(32)相邻的第二端(42)。重新分布层(50)设置于第一和第二支撑部分的第二表面之间，从而电连接第一过孔中的至少一些第一过孔与第二过孔中的至少一些第二过孔。第一和第二支撑部分可以具有小于12ppm/℃的CTE。