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公开(公告)号：CN114731781A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202080084511.X
申请日：2020-10-21
Applicant: 伊斯梅卡半导体控股公司
Abstract: 一种用于选择性地附接到可旋转转台的模块，包括：臂，其包括能够固定到可旋转转台的第一端部和第二自由端部；尖端保持器，其构造成使得它能够保持尖端构件，其中，所述尖端构件是管状的，并且其中，尖端保持器还包括能够流体连接到真空发生器的入口，其中，当尖端保持器保持所述尖端构件时，所述入口流体连接到尖端构件；轴构件，其布置成使得它能够沿着平行于所述轴构件的纵向轴线的轴线线性地移动，其中，该轴构件包括第一端部和相对的第二端部，致动器能够将力施加到该第一端部以使轴构件沿着所述轴线线性地移动；力传感器，其位于所述尖端保持器和所述轴构件的第二端部之间。还提供了一种包括所述模块的组件和一种确定当部件被递送到表面上时施加到部件的力的方法。
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