公开(公告)号：CN112956008B

公开(公告)日：2025-02-21

申请号：CN201980071815.X

申请日：2019-12-05

Applicant: 伊斯梅卡半导体控股公司

Inventor： M·M·德耶稣门德斯努尼斯 ,  G·帕尔米萨诺 ,  R·E·P·泰拉尔德 ,  T·厄默

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683

Abstract: 根据本发明，提供了一种部件搬运组件，该组件包括：传送系统，其包括轨道和多个梭子，其中，所述梭子中的每个可沿着轨道单独地且彼此独立地被驱动；并且其中，所述梭子中的每个包括可保持部件的拾取头；位于轨道附近的多个工位，所述多个工位包括：拾取工位，梭子上的拾取头可在该拾取工位处从位于所述拾取工位中的托盘拾取部件；至少一个视觉检查工位，其包括一个或多个相机，在该视觉检查工位处，已经从拾取工位拾取并传送到视觉检查工位的部件可被检查；和放置工位和/或带工位中的至少一个，在放置工位处，梭子上的拾取头可将部件放置到托盘上，在带工位处，梭子上的拾取头可将部件放置到带的凹坑中。

公开(公告)号：CN112956008A

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN201980071815.X

申请日：2019-12-05

Applicant: 伊斯梅卡半导体控股公司

Inventor： M·M·德耶稣门德斯努尼斯 ,  G·帕尔米萨诺 ,  R·E·P·泰拉尔德 ,  T·厄默

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683

Abstract: 根据本发明，提供了一种部件搬运组件，该组件包括：传送系统，其包括轨道和多个梭子，其中，所述梭子中的每个可沿着轨道单独地且彼此独立地被驱动；并且其中，所述梭子中的每个包括可保持部件的拾取头；位于轨道附近的多个工位，所述多个工位包括：拾取工位，梭子上的拾取头可在该拾取工位处从位于所述拾取工位中的托盘拾取部件；至少一个视觉检查工位，其包括一个或多个相机，在该视觉检查工位处，已经从拾取工位拾取并传送到视觉检查工位的部件可被检查；和放置工位和/或带工位中的至少一个，在放置工位处，梭子上的拾取头可将部件放置到托盘上，在带工位处，梭子上的拾取头可将部件放置到带的凹坑中。