曝光用光源装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112969969A

    公开(公告)日:2021-06-15

    申请号:CN201980073618.1

    申请日:2019-11-12

    Abstract: 本发明提供一种使用多个半导体激光光源(11)而供给均匀的位置分布以及角度分布的光的曝光用光源装置(1)。曝光用光源装置(1)具备:多个半导体激光单元(10),分别包括:多个半导体激光光源(11)、将从所述半导体激光光源(11)射出的光线束转换成大致平行的光线束而射出的多个准直光学系统(12)、入射从所述多个准直光学系统(12)射出的多个光线束并将各个光线束转换成发散的光线束而射出的扩散光学系统(13)、以及将从所述扩散光学系统(13)射出的光线束聚光的聚光光学系统(14);以及积分光学系统(15),在从所述多个半导体激光单元(10)射出的多个光线束聚光的位置配置有入射面,所述扩散光学系统(13)配置于从不同的所述半导体激光光源(11)射出的光线束的至少一部分在所述聚光光学系统(14)的入射面上重合的位置。

    激光光源装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102566079A

    公开(公告)日:2012-07-11

    申请号:CN201110416438.4

    申请日:2011-12-14

    Inventor: 三浦雄一

    Abstract: 本发明提供一种激光光源装置,其例如作为投影仪装置用的光源来使用,能够不使亮度降低而减少斑点噪声。该激光光源装置具备:激光光源;棱镜,以供来自激光光源的激光通过的一侧光学平面与激光的光路正交的状态而设置;以及振动驱动机构,使棱镜以如下方式振动:沿着不与激光的光路正交的另一侧光学平面所在的平面,在棱镜中的激光的光路长度发生变化的方向上进行平行移动。此外,将复合棱镜以任一侧光学平面与激光的光路正交的状态而设置,该复合棱镜是具有构成各顶角的两个光学平面的多个棱镜要素以一侧光学平面位于同一平面上且另一侧光学平面的水平位置互相不同的状态,沿高度方向紧贴配置而成。

    反射镜装置以及具有该反射镜装置的光源装置

    公开(公告)号:CN113467044B

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202110210810.X

    申请日:2021-02-25

    Abstract: 本发明提供一种能够保持反射镜的平行性,并且能够抑制由粘接剂的劣化引起的反射镜的脱落的反射镜装置。反射镜装置(13)具有多个反射镜(15)、载置多个反射镜(15)的反射镜支承体(17)、以及用于粘接固定多个反射镜(15)与反射镜支承体(17)的粘接部件(30)。反射镜支承体(17)具有供多个反射镜(15)抵接的抵接部(17B)、以及以抵接部(17B)为基准而从反射镜(15)离开的方向的台阶(172)。台阶(172)具有设置粘接部件(30)的粘接固定部(1721)。

    光源装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115004075A

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202080094206.9

    申请日:2020-12-15

    Inventor: 三浦雄一

    Abstract: 提供一种光源装置,能够生成表现出宽波段的光谱且使相干性较高的光的比例降低的光。光源装置具备:半导体激光器,发出主发光波长属于第一波段的第一光;荧光体,若第一光向该荧光体中入射,则转换为主发光波长属于与第一波段不同的第二波段的第二光并出射;第一分色镜,使入射的第一光及第二光中的一方实质上透射且使另一方实质上反射;LED,发出主发光波长处于第一波段的第三光;以及第二分色镜,在第一分色镜中透射或者反射的第二光和从LED发出的第三光向该第二分色镜入射,使第二光和第三光中的一方实质上透射且使另一方实质上反射。

    曝光用光源装置
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112969969B

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN201980073618.1

    申请日:2019-11-12

    Abstract: 本发明提供一种使用多个半导体激光光源(11)而供给均匀的位置分布以及角度分布的光的曝光用光源装置(1)。曝光用光源装置(1)具备:多个半导体激光单元(10),分别包括:多个半导体激光光源(11)、将从所述半导体激光光源(11)射出的光线束转换成大致平行的光线束而射出的多个准直光学系统(12)、入射从所述多个准直光学系统(12)射出的多个光线束并将各个光线束转换成发散的光线束而射出的扩散光学系统(13)、以及将从所述扩散光学系统(13)射出的光线束聚光的聚光光学系统(14);以及积分光学系统(15),在从所述多个半导体激光单元(10)射出的多个光线束聚光的位置配置有入射面,所述扩散光学系统(13)配置于从不同的所述半导体激光光源(11)射出的光线束的至少一部分在所述聚光光学系统(14)的入射面上重合的位置。

    光源装置及光照射装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102182979B

    公开(公告)日:2014-04-09

    申请号:CN201110005304.3

    申请日:2011-01-05

    Abstract: 本发明提供一种光源装置及光照射装置,被交流驱动的放电灯和装入有该放电灯的凹面反射镜构成,并配置成所述放电灯的中心轴与凹面反射镜的光轴一致,抑制灯的下半部内的紫外线吸收而能够得到充分的光输出的结构。其特征在于,所述凹面反射镜的开口部朝向上方配置,一对电极的下侧电极进行阳极动作的时间比上侧电极进行阳极动作的时间长。

    光源装置
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111443494B

    公开(公告)日:2023-07-28

    申请号:CN201911323180.6

    申请日:2019-12-20

    Inventor: 三浦雄一

    Abstract: 本发明提供一种使用从多个射出区域射出光的外部谐振器型半导体激光光源射出提高了角度分布均匀性的光的光源装置。该光源装置的特征在于,具有:外部谐振器型半导体激光光源,包含波长转换元件,将由所述波长转换元件转换波长而成的光从第一光射出区域及与所述第一光射出区域不同的第二光射出区域射出;第一光波导以及第二光波导,从各个光射出面对同一照射面照射光;第一聚光光学系统,使从所述第一光射出区域射出的多个第一光束会聚到所述第一光波导的入射面;以及第二聚光光学系统,使从所述第二光射出区域射出的多个第二光束会聚到所述第二光波导的入射面。

    相干光源装置及投影机
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104136960B

    公开(公告)日:2016-10-26

    申请号:CN201380010335.5

    申请日:2013-02-20

    Abstract: 提供一种相干光源装置及投影机,避免在将半导体激光或其他激光的相干光投射的情况下不可避免地出现的散斑使投射的光的均匀性劣化的问题的。构成为,具有由相干光源形成的第1光放射区域;具备:第1光学系统,将来自第1光放射区域的光投影,形成第2光放射区域;光偏向机构,在第2光放射区域的附近,将与第2光放射区域的形成有关的光束偏向;第2光学系统,设置在光偏向机构的后级;光混合机构,设置在第2光学系统的后级,用来进行向其入射端入射的光线的角度和位置的成分的混合;第2光学系统在远方形成与第1光放射区域共轭的像,并且在入射端形成与第1光学系统的出射光瞳大致共轭的第3光放射区域;光偏向机构继续使将光束偏向的方向连续地变化的动作。

    光源装置
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112670816A

    公开(公告)日:2021-04-16

    申请号:CN202011057985.3

    申请日:2020-09-30

    Abstract: 本发明提供一种光源装置,具备激光激发光源和出射包含UV区域的波长不同的光的多个LED,能够稳定地输出UV区域的光。光源装置(100)具备:激光激发光源(110),其具有激发用的半导体激光器、被该半导体激光器激发的荧光体、以及取出从该荧光体放射的荧光的光学系统;多个LED光源(120A~120D),放射具有与荧光不同的波长的光;以及合成光学系统,对来自激光激发光源(110)的荧光和来自多个LED光源(120A~120D)的光进行合成,并从光出射部出射。多个LED光源(120A~120D)包括放射紫外区域的光的LED光源,多个LED光源(120A~120D)中的放射紫外区域的光的LED光源配置在比放射其他波长的光的LED光源更远离激光激发光源(110)的位置。

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