公开(公告)号：CN108885404B

公开(公告)日：2021-04-27

申请号：CN201780008774.0

申请日：2017-01-13

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 五十岚晃

IPC: G03F7/20 ,  H05K3/00

Abstract: 提供一种曝光技术，该曝光技术即使为了不同的品种而进行不同曝光图案的曝光的情况下，也不费功夫及成本，适合于多品种少量生产。工件(W)的各对位标记(AM)经透射型的数字光掩模(2)而被各相机(7)拍摄，基于各拍摄数据，控制器(4)上的修正程序修正原始的图案数据。修正中包含掩模图案的显示位置的修正、倍率的修正。来自光源(1)的包含紫外线的光通过所修正的掩模图案而向工件(W)照射，工件(W)被曝光。

公开(公告)号：CN108885404A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780008774.0

申请日：2017-01-13

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 五十岚晃

IPC: G03F7/20 ,  H05K3/00

CPC classification number: G03F7/20 ,  H05K3/00

Abstract: 提供一种曝光技术，该曝光技术即使为了不同的品种而进行不同曝光图案的曝光的情况下，也不费功夫及成本，适合于多品种少量生产。工件(W)的各对位标记(AM)经透射型的数字光掩模(2)而被各相机(7)拍摄，基于各拍摄数据，控制器(4)上的修正程序修正原始的图案数据。修正中包含掩模图案的显示位置的修正、倍率的修正。来自光源(1)的包含紫外线的光通过所修正的掩模图案而向工件(W)照射，工件(W)被曝光。