公开(公告)号：CN107656425B

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：CN201710610850.7

申请日：2017-07-25

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 原贵之

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供一种即使对产生了变形的工件也能够不造成工件的损伤地充分吸附并保持、即使对于不同尺寸的工件也容易应对的廉价的工作台。设置在供板状的工件W载置的工作台主体(1)的工件保持面的收缩片(3)为，包围设置有工件用真空吸附孔(21)的区域的边框状。在工件W)载置于工件保持面并利用通过工件用真空吸附孔(21)的真空吸引而被吸附时，收缩片(3)被夹在工件W与工作台主体(1)之间。收缩片(3)为沿着工件(W)的周边部延伸的形状，对应于工件(3)的变形，通过弹性在厚度方向上收缩，与工件(W)紧贴。

公开(公告)号：CN107148152B

公开(公告)日：2021-01-12

申请号：CN201710117232.9

申请日：2017-03-01

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 原贵之

IPC: H05K3/06 ,  G03F7/20

Abstract: 不会利用将基板吸附于基台的真空吸附力或将基板暴露于真空中、就而能够将基板的周边部向基台按压，使得对于厚度不同的基板也能够容易地对应。在基板(S)通过真空吸附机构(3)而被吸附到基台(1)时，设置在不遮挡曝光的形状的框体(61)上的一对周状封固部件(62)与基台(1)抵接，所形成的密闭空间通过框体用排气孔(13)被排气，从而框体(61)被朝向基台(1)按压。其结果，以基板(S)的周边部被按压于基台(1)、基板(S)的变形被矫正的状态，通过曝光系统(2)将基板(S)曝光。

公开(公告)号：CN107148152A

公开(公告)日：2017-09-08

申请号：CN201710117232.9

申请日：2017-03-01

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 原贵之

IPC: H05K3/06 ,  G03F7/20

Abstract: 不会利用将基板吸附于基台的真空吸附力或将基板暴露于真空中、就而能够将基板的周边部向基台按压，使得对于厚度不同的基板也能够容易地对应。在基板(S)通过真空吸附机构(3)而被吸附到基台(1)时，设置在不遮挡曝光的形状的框体(61)上的一对周状封固部件(62)与基台(1)抵接，所形成的密闭空间通过框体用排气孔(13)被排气，从而框体(61)被朝向基台(1)按压。其结果，以基板(S)的周边部被按压于基台(1)、基板(S)的变形被矫正的状态，通过曝光系统(2)将基板(S)曝光。

公开(公告)号：CN107656425A

公开(公告)日：2018-02-02

申请号：CN201710610850.7

申请日：2017-07-25

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 原贵之

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70716 ,  G03F7/20

Abstract: 提供一种即使对产生了变形的工件也能够不造成工件的损伤地充分吸附并保持、即使对于不同尺寸的工件也容易应对的廉价的工作台。设置在供板状的工件W载置的工作台主体(1)的工件保持面的收缩片(3)为，包围设置有工件用真空吸附孔(21)的区域的边框状。在工件W)载置于工件保持面并利用通过工件用真空吸附孔(21)的真空吸引而被吸附时，收缩片(3)被夹在工件W与工作台主体(1)之间。收缩片(3)为沿着工件(W)的周边部延伸的形状，对应于工件(3)的变形，通过弹性在厚度方向上收缩，与工件(W)紧贴。