公开(公告)号：CN109690408B

公开(公告)日：2021-08-03

申请号：CN201780055184.3

申请日：2017-08-28

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 中岛裕 ,  大矢佳幸

IPC: G03F7/20 ,  G01B11/00 ,  G06T1/00

Abstract: 本发明的目的是提供一种能够以较高的精度确定矩形状的基板的角位置的实用性的技术。在以角位于照相机(4)的摄影区(41)内的方式将矩形状的基板(S)配置之后，将摄影区(41)用照相机(4)摄影，在通过将摄影数据二值化而检测的团块(Bs)判断为在摄影区(41)内有基板(S)的角的情况下，在各X方向扫描线(Lx)中将最外侧的从暗向明的边界点(P)作为X方向边缘点候选，并且在各Y方向扫描线(Ly)中将最外侧的从暗向明的边界点(P)作为Y方向边缘点候选。将经过X)方向边缘点候选的近似直线与经过Y方向边缘点候选的近似直线的交点确定为基板的角(C)的位置。

公开(公告)号：CN109690408A

公开(公告)日：2019-04-26

申请号：CN201780055184.3

申请日：2017-08-28

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 中岛裕 ,  大矢佳幸

IPC: G03F7/20 ,  G01B11/00 ,  G06T1/00

CPC classification number: G01B11/00 ,  G03F7/20 ,  G06T1/00

Abstract: 本发明的目的是提供一种能够以较高的精度确定矩形状的基板的角位置的实用性的技术。在以角位于照相机(4)的摄影区(41)内的方式将矩形状的基板(S)配置之后，将摄影区(41)用照相机(4)摄影，在通过将摄影数据二值化而检测的团块(Bs)判断为在摄影区(41)内有基板(S)的角的情况下，在各X方向扫描线(Lx)中将最外侧的从暗向明的边界点(P)作为X方向边缘点候选，并且在各Y方向扫描线(Ly)中将最外侧的从暗向明的边界点(P)作为Y方向边缘点候选。将经过X)方向边缘点候选的近似直线与经过Y方向边缘点候选的近似直线的交点确定为基板的角(C)的位置。