公开(公告)号：CN119230371A

公开(公告)日：2024-12-31

申请号：CN202410392651.3

申请日：2024-04-02

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 泽田隆志 ,  中岛明信 ,  山下新司

IPC: H01J37/32 ,  H01J61/00

Abstract: 本发明涉及一种处理装置，能够早期调整工件周围的环境气且生产率较大。处理装置具备：载放工件的支承台；收纳有所述支承台的第一单元；第二单元，相对于所述第一单元对置地配置，收纳由放电灯或者等离子体产生装置构成的放电部；以及向所述第一单元内导入气体的供气口，通过所述第一单元与所述第二单元形成封闭空间，所述第二单元朝向所述支承台供给由所述放电部生成的紫外光或者含等离子体气体，所述支承台构成为能够使所述工件在所述第一单元与所述第二单元对置的第一方向上移动，将所述第一单元的内部空间在所述第一方向上实质地分离。

公开(公告)号：CN118159356A

公开(公告)日：2024-06-07

申请号：CN202280071474.8

申请日：2022-10-31

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 笠木邦雄 ,  石原肇 ,  山下新司

IPC: B01J19/12 ,  H01J65/00 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明的目的在于提供一种照射单元和灯单元，使灯的更换作业容易化而降低了损坏灯的风险。具备：灯单元，搭载有准分子灯，该准分子灯具有在第一方向上延伸的发光管、和在发光管的径向上相对地设置的第一电极和第二电极；及壳体，通过灯单元插入该壳体而收容所述准分子灯，灯单元具备：板材；限制构件，形成为从第一主面突出，并限制准分子灯在壳体内的移动；及供电部，在板材堵塞插入口的状态下，设置于位于壳体的外侧的板材的第二主面侧，并对准分子灯进行供电。