公开(公告)号：CN104238136B

公开(公告)日：2018-06-12

申请号：CN201410270138.3

申请日：2014-06-17

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 筱田和敏

IPC: G02B27/28 ,  G02B5/30 ,  G02F1/1337

Abstract: 提供一种光取向用偏振光照射装置及光取向用偏振光照射方法，其是通过精心设计输送系统，能够使曝光量的面内均匀性变得更高的实用的光取向技术。将来自构成长的发光部的光源(3)的光经由偏振元件单元(4)对照射区域(R)照射，输送系统(2)将基板(S)在第一方向上输送，一边使其穿过照射区域(R)一边使其往复。各偏振元件(41)的边界线(40)沿着第一方向，输送系统(2)在往路的输送后、回路的输送之前，将基板(S)在第二方向上输送。由于从基板(S)观察，处于边界线(40)的位置变位的状态，所以曝光量变均匀。

公开(公告)号：CN105929604A

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201610511255.3

申请日：2013-02-01

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 筱田和敏

IPC: G02F1/1337

Abstract: 在使用了排列配置了多个偏光板的偏振元件单元的偏振光照射装置中，外部气体从偏光板的边界的间隙引入灯箱内。本发明的偏振光照射装置具备光出射部(2)，该光出射部(2)具有棒状灯(21)和筒状反光镜(22)，在光出射侧设置有偏振元件单元(80)，在偏振元件单元(80)排列配置了多个偏振元件(1)。冷却风被冷却机(20)冷却，由鼓风机(30)经由通风路径(50)送到上述反光镜(22)的光出射侧，对灯(21)和反光镜(22)进行冷却，并返回冷却机(20)。上述反光镜(22)和上述偏振元件单元(80)之间的空间设置有用于供给气体(清洁干燥空气)的喷嘴(3)，上述空间成为正压。由此，能够防止外部气体被引入到灯箱(10)内。

公开(公告)号：CN103246113B

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201310042108.2

申请日：2013-02-01

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 筱田和敏

IPC: G02F1/1337 ,  G02B27/28

Abstract: 在使用了排列配置了多个偏光板的偏振元件单元的偏振光照射装置中，外部气体从偏光板的边界的间隙引入灯箱内。本发明的偏振光照射装置具备光出射部（2），该光出射部（2）具有棒状灯（21）和筒状反光镜（22），在光出射侧设置有偏振元件单元（80），在偏振元件单元（80）排列配置了多个偏振元件（1）。冷却风被冷却机（20）冷却，由鼓风机（30）经由通风路径（50）送到上述反光镜（22）的光出射侧，对灯（21）和反光镜（22）进行冷却，并返回冷却机（20）。上述反光镜（22）和上述偏振元件单元（80）之间的空间设置有用于供给气体（清洁干燥空气）的喷嘴（3），上述空间成为正压。由此，能够防止外部气体被引入到灯箱10）内。

公开(公告)号：CN105929604B

公开(公告)日：2019-10-01

申请号：CN201610511255.3

申请日：2013-02-01

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 筱田和敏

IPC: G02F1/1337

Abstract: 在使用了排列配置了多个偏光板的偏振元件单元的偏振光照射装置中，外部气体从偏光板的边界的间隙引入灯箱内。本发明的偏振光照射装置具备光出射部(2)，该光出射部(2)具有棒状灯(21)和筒状反光镜(22)，在光出射侧设置有偏振元件单元(80)，在偏振元件单元(80)排列配置了多个偏振元件(1)。冷却风被冷却机(20)冷却，由鼓风机(30)经由通风路径(50)送到上述反光镜(22)的光出射侧，对灯(21)和反光镜(22)进行冷却，并返回冷却机(20)。上述反光镜(22)和上述偏振元件单元(80)之间的空间设置有用于供给气体(清洁干燥空气)的喷嘴(3)，上述空间成为正压。由此，能够防止外部气体被引入到灯箱(10)内。

公开(公告)号：CN104238136A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201410270138.3

申请日：2014-06-17

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 筱田和敏

IPC: G02B27/28 ,  G02B5/30 ,  G02F1/1337

Abstract: 本发明提供一种光取向用偏振光照射装置及光取向用偏振光照射方法，其是通过精心设计输送系统，能够使曝光量的面内均匀性变得更高的实用的光取向技术。将来自构成长的发光部的光源(3)的光经由偏振元件单元(4)对照射区域(R)照射，输送系统(2)将基板(S)在第一方向上输送，一边使其穿过照射区域(R)一边使其往复。各偏振元件(41)的边界线(40)沿着第一方向，输送系统(2)在往路的输送后、回路的输送之前，将基板(S)在第二方向上输送。由于从基板(S)观察，处于边界线(40)的位置变位的状态，所以曝光量变均匀。

公开(公告)号：CN103246113A

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201310042108.2

申请日：2013-02-01

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 筱田和敏

IPC: G02F1/1337 ,  G02B27/28

Abstract: 在使用了排列配置了多个偏光板的偏振元件单元的偏振光照射装置中，外部气体从偏光板的边界的间隙引入灯箱内。本发明的偏振光照射装置具备光出射部（2），该光出射部（2）具有棒状灯（21）和筒状反光镜（22），在光出射侧设置有偏振元件单元（80），在偏振元件单元（80）排列配置了多个偏振元件（1）。冷却风被冷却机（20）冷却，由鼓风机（30）经由通风路径（50）送到上述反光镜（22）的光出射侧，对灯（21）和反光镜（22）进行冷却，并返回冷却机（20）。上述反光镜（22）和上述偏振元件单元（80）之间的空间设置有用于供给气体（清洁干燥空气）的喷嘴（3），上述空间成为正压。由此，能够防止外部气体被引入到灯箱（10）内。