公开(公告)号：CN104159956A

公开(公告)日：2014-11-19

申请号：CN201380008666.5

申请日：2013-02-11

Applicant: 伯明翰大学

Inventor： 安德烈亚什·弗罗姆霍尔德 ,  亚历克斯·鲁滨逊 ,  耶德萨达·马尼安姆

IPC: C08K9/04 ,  C01B31/02 ,  C09C3/08 ,  H01L21/00

CPC classification number: C09D161/14 ,  B05D1/005 ,  B05D3/02 ,  C08K9/04 ,  C09C1/44 ,  C09C1/56 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/3086

Abstract: 本文公开并要求保护的是一种用于形成旋涂硬掩模的组合物，所述组合物具有富勒烯衍生物和交联剂。进一步公开了用于形成硬旋涂硬掩模的方法。