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公开(公告)号：CN117355386A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202280036104.0
申请日：2022-05-19
Applicant: 伯格利-格拉维瑞斯股份有限公司
IPC: B23K26/03
Abstract: 用于在工件上雕刻衍射光栅的设备，包括光学装置(set‑up)，该光学装置包括激光器、光束成形设备、分束设备和聚焦头。该激光器被配置为输出激光束。该光束成形设备被配置为控制激光束的直径和光强度分布，并输出主激光束。该分束设备被配置用于将主激光束分成多个分裂光束以用于雕刻。该聚焦头包括：显微镜物镜(109)，其被配置为将相应的分裂光束聚焦在工件上的相应焦点中；自动聚焦系统，其被配置为产生用于调整和保持显微镜物镜与工件之间的距离以便保持分裂光束在工件上的相应焦点的定位信号并输出定位信号；和微致动器，其被配置为接收定位信号并调整显微镜物镜与工件之间的距离，从而使自动聚焦系统和微致动器可操作地以闭环连接。用于雕刻的设备还包括定位设备，其被配置为执行在分裂光束的相应焦点中的工件与光学装置之间的相对定位；和控制器，其被配置为根据用于衍射光栅的雕刻指令控制定位设备和激光器。
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