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公开(公告)号：CN109297971A
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201810793863.7
申请日：2018-07-18
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明提供缺陷检查系统及缺陷检查方法。在缺陷检查系统(1)中，由摄像部(3)拍摄出在输送方向(X)上亮度发生变化的二维图像，由列分割处理部(9)处理成使二维图像的相同位置的列依照时间序列的顺序排列而成的列分割图像的图像数据，由分类部(10)将不同的亮度的列分割图像分类为多个列分割图像组，由合并部(11)将在列分割图像中对检查对象(T)的相同位置进行拍摄得到的图像数据的像素值彼此合并，按列分割图像组生成图像合并数据，由分割输出部(12)按照预先设定的规则对图像合并数据进行分割并输出，按基于预先设定的规则进行的分割而使图像合并数据的图像的呈现方式不同，容易识别缺陷的类别。
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公开(公告)号：CN109297972A
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201810800030.9
申请日：2018-07-19
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明提供缺陷检查系统及缺陷检查方法。缺陷检查系统(1)具备光源(2)、摄像部(3)、输送部(4)及图像处理部(5)，由图像处理部(5)基于对与二维图像(F)所包含的缺陷的类别的识别相关的机械学习的结果进行积累得到的数据，来识别由摄像部(3)按离散时间拍摄出的一系列的二维图像所包含的缺陷的类别，因此通过将机械学习适用于按离散时间拍摄出的二维图像而使识别精度提高，除此以外，由摄像部(3)拍摄出在二维图像的与输送方向(X)一致的方向上亮度发生变化的二维图像，因此机械学习被适用于在按离散时间拍摄出的二维图像中的沿着输送方向的各部位处亮度发生变化的二维图像，能够提高缺陷(D)的识别精度。
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公开(公告)号：CN107462580A
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201710387479.2
申请日：2017-05-26
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G01N21/8851 , G01N21/01 , G01N2021/0112 , G06T7/0004
Abstract: 本发明提供能够容易地确定膜的缺陷的位置且能够更加容易地识别缺陷的种类的缺陷检查系统、膜制造装置以及缺陷检查方法。由缺陷检查系统(100a)的解析装置(6)的缺陷位置确定部(62)根据由缺陷检查系统的图像处理部(52)的变化量算出部(13)、同一部位判定提取部(14)、累计部(15)以及图像生成部(16)处理后的缺陷增强处理图像(E(t1))，来确定膜(2a)上的缺陷的位置，由解析装置的缺陷种类识别部根据由图像处理部的数据提取部以及数据保存部处理后的列分割图像来识别由缺陷位置确定部确定位置后的缺陷的种类。列分割图像容易识别缺陷的种类。因此，能够容易地确定缺陷的位置且能够更容易地识别缺陷的种类。
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公开(公告)号：CN104919306B
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201480004738.3
申请日：2014-01-15
Applicant: 住友化学株式会社
Inventor： 尾崎麻耶
IPC: G06T1/00
CPC classification number: G06T3/4038 , G01N21/8851 , G01N21/8901 , G06T7/0004 , G06T2207/30124
Abstract: 本发明的缺陷检查装置(100)中设置有：传输部(11)，传输薄片状成形体；光照射部(12)，向薄片状成形体照射光；摄像部(13)，通过摄像动作生成二维图像数据；边界提取部(1411)，提取由各二维图像数据表示的各二维图像内的明部与暗部的边界线部；重新提取部(1412)，连接通过边界提取部(1411)提取出的边界线部后看作表观边界线，对该表观边界线进行平滑化，以使去除出现在该表观边界线中的尖锐的峰，从二维图像数据中提取平滑化之后得到的构成原来的边界线的像素；和合成部(1413)，生成由重新提取部(1412)所提取的像素构成的一维图像数据，同样地合成根据多个二维图像数据得到的多个一维图像数据来生成检查用图像数据。
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公开(公告)号：CN104956210B
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201480006156.9
申请日：2014-01-28
Applicant: 住友化学株式会社
Inventor： 尾崎麻耶
IPC: G01N21/892 , G01B11/30
CPC classification number: G01N21/892 , G01N2021/8861 , G06T7/0004 , G06T2207/30124
Abstract: 本发明的缺陷检查装置(100)的缺陷映像图像生成部(72)通过对处理图像生成部61生成的多个处理图像进行合成来生成缺陷映像图像。缺陷映像图像生成部(72)具有坐标值计算部(721)、累计部(722)以及亮度值设定部(723)。坐标值计算部(721)基于各处理图像的各像素的坐标值、薄片状成形体(2)的传输速度以及在摄像装置(5)中设定的帧频，计算出缺陷映像图像的各像素的坐标值。累计部(722)求出坐标值计算部(721)计算出了同一坐标值的像素内的缺陷像素的数量、该缺陷像素的灰度值的总计。亮度值设定部(723)根据累计部(722)的计算值，设定缺陷映像图像中的各像素的亮度值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116324378A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202180064765.X
申请日：2021-09-27
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G01N21/03
Abstract: 根据一实施方式的评价对象的评价方法，其具备：照射步骤(S01)，将照明光从光源照射到板所具备的多个孔中保持有评价对象的评价板；摄像步骤(S02)，在照射步骤中，将照明光照射到评价板的同时，对评价板进行摄像；和评价步骤(S03)，根据摄像步骤中得到的评价板的图像来对评价对象进行评价，评价对象包含试验物，多个孔具有保持了还包含测试物的评价对象的测试物用孔，在摄像步骤中，在从照射步骤中照明光向评价板开始照射起不足120秒，结束评价板整体的摄像，在结束摄像步骤中的评价板整体的摄像后，结束照明光的照射。
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公开(公告)号：CN113646624A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202080027065.9
申请日：2020-03-05
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G01N21/892 , G02B5/30 , G01M11/00
Abstract: 本发明的一个实施方式所涉及的检查装置具备：检查光学系统，其具有照明部、和取得用于缺陷判定的检查图像的拍摄部；以及移动机构，其使膜移动，检查光学系统与移动机构独立地固定配置，移动机构具有使膜相对于检查光学系统向与膜的基准方向不同的第一方向移动的机构，拍摄部的拍摄区域(A)沿与第一方向不同的第二方向延伸，基准方向、第一方向以及第二方向与膜的厚度方向正交，基准方向与第一方向之间的第一角度(θ1)为15°以上且165°以下，第一方向与第二方向之间的第二角度(θ2)为15°以上且165°以下，基准方向与第二方向为非正交。
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公开(公告)号：CN104956210A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201480006156.9
申请日：2014-01-28
Applicant: 住友化学株式会社
Inventor： 尾崎麻耶
IPC: G01N21/892 , G01B11/30
CPC classification number: G01N21/892 , G01N2021/8861 , G06T7/0004 , G06T2207/30124
Abstract: 本发明的缺陷检查装置(100)的缺陷映像图像生成部(72)通过对处理图像生成部61生成的多个处理图像进行合成来生成缺陷映像图像。缺陷映像图像生成部(72)具有坐标值计算部(721)、累计部(722)以及亮度值设定部(723)。坐标值计算部(721)基于各处理图像的各像素的坐标值、薄片状成形体(2)的传输速度以及在摄像装置(5)中设定的帧频，计算出缺陷映像图像的各像素的坐标值。累计部(722)求出坐标值计算部(721)计算出了同一坐标值的像素内的缺陷像素的数量、该缺陷像素的灰度值的总计。亮度值设定部(723)根据累计部(722)的计算值，设定缺陷映像图像中的各像素的亮度值。
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公开(公告)号：CN104919305A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201480004546.2
申请日：2014-01-15
Applicant: 住友化学株式会社
Inventor： 尾崎麻耶
IPC: G01N21/892 , G06T1/00
CPC classification number: G06T7/0004 , G01N21/8851 , G01N21/8903 , G06T2207/30124
Abstract: 本发明提供一种缺陷检查装置。在缺陷检查装置(100)中，图像生成装置(1)的处理图像生成部(61)，生成由针对缺陷像素存储有表示与特征量相应的灰度值的灰度信息、针对残余像素存储有表示零的灰度值的灰度信息的灰度信息存储位串构成的处理图像数据，分析用图像生成部(62)，按照每个像素，生成由在所述灰度信息存储位串中附加存储有缺陷信息的缺陷信息存储位串而得到分析用位串构成分析用图像数据。
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公开(公告)号：CN118946800A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202380030982.6
申请日：2023-01-31
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 一实施方式所涉及的透明度评价方法具备如下工序：取得板图像中的N个规定区域的相对于对象颜色的N个度数分布，所述N个度数分布以至少两个颜色特征量为变量；基于相对于作为第一透明状态的对象颜色的第一基准对象颜色的第一基准度数分布和N个度数分布对透明度进行评价，板图像是与在多个孔中保持有包括试验物的评价对象的评价板相对应的图像，多个孔具有保持包括测试物的评价对象的至少一个测试物用孔，N个规定区域的至少一个包括与测试物用孔相对应的图像，在对透明度进行评价的工序中，基于从第一基准度数分布内的第一基准对象颜色区域的重心位置朝向N个度数分布内的对象颜色区域的重心位置的重心向量对透明度进行评价。
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