公开(公告)号：CN103080714B

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201280002657.0

申请日：2012-04-19

Applicant: 住友理工株式会社

Inventor： 稻田诚生 ,  郭士杰 ,  白冈贵久 ,  矶部宏

IPC: G01L1/14 ,  G01B7/00 ,  G01L5/00

CPC classification number: H03K17/962 ,  G01L1/146

Abstract: 提供一种静电电容式传感器装置，能够高精度地检测外力的位置和大小。使用静电电容式传感器(10)，该静电电容式传感器(10)构成为，将隔开距离相对设置的电极对(Es/11,12)矩阵状地配置，在电极对(Es/11,12)之间配置能够弹性变形的介电层(13)。静电电容测量部(50)针对多种组合的电极对群(Eg)进行电极对群(Eg)之间的静电电容的测量，该电极对群(Eg)由包括所选择的电极对的多个电极对(Es/11,12)构成。外力计算部(60)根据这样测量得到的多个静电电容，来算出施加到所选择的电极对(Es)的位置的外力(F)的大小。