公开(公告)号：CN1140549C

公开(公告)日：2004-03-03

申请号：CN96194166.9

申请日：1996-05-20

Applicant: 住友电木株式会社

Inventor： L·F·罗德斯 ,  B·L·古多尔 ,  R·默豪普特 ,  R·A·希克 ,  G·M·本尼迪克特 ,  S·K·贾雅拉曼 ,  L·M·索比 ,  L·H·麦金托什三世

IPC: C08F232/00 ,  C08G61/00 ,  C08F277/00 ,  C08F279/02 ,  C08F297/00 ,  C08L45/00 ,  C08L65/00

CPC classification number: C08G77/442 ,  C08F232/08 ,  C08F277/00 ,  C08L53/025 ,  C08L2666/04

Abstract: 衍生自降冰片烯型单体的多环加成聚合物与各种其它聚合物混合产生一系列新的共混物，合金和嵌段聚合物。

公开(公告)号：CN1251021C

公开(公告)日：2006-04-12

申请号：CN98808966.1

申请日：1998-09-03

Applicant: 住友电木株式会社 ,  国际商业机器公司

Inventor： B·L·古多尔 ,  S·佳亚拉曼 ,  R·A·希克 ,  L·F·罗德斯 ,  R·D·阿伦 ,  R·A·迪彼特罗 ,  T·瓦尔劳

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/039 ,  G03F7/0045

Abstract: 本发明涉及一种辐射敏感的光刻胶组合物，包括光致酸引发剂和多环聚合物，该聚合物包括含酸不稳定侧基的重复单元。通过图像辐射源曝光，光致酸引发剂产生使酸不稳定侧基分裂的酸，使聚合物中的极性改变。在按图像光源曝光的区域使聚合物具有碱水溶液可溶性。