金属精细结构体的制造方法

    公开(公告)号:CN1578753A

    公开(公告)日:2005-02-09

    申请号:CN02821630.X

    申请日:2002-10-25

    Abstract: 本发明是一种用树脂模型(13)制造金属精细结构体(1)的制造方法,为了提供能设定树脂模型(13)的损坏少并且温和的制造条件,通过均匀的电铸大量制造高精度的金属精细结构体(1)的方法,本发明的金属精细结构体(1)的制造方法包括通过感光性聚合物(12)将树脂模型(13)固定在导电基板(11)上,形成树脂模型层合体(2)的工序,其中所述感光性聚合物(12)通过电子射线、紫外线或可见光线使化学组成改变,树脂模型(13)具有贯穿厚度方向的空穴部;用电子射线、紫外线或可见光线将所述树脂模型层合体(2)曝光的工序;除掉所述树脂模型(13)的空穴部中存在的感光后的感光性聚合物(12c)的工序;和通过电铸用金属(14)中填埋所述树脂模型层合体(2)的空穴部的工序。

    探测器
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1809756A

    公开(公告)日:2006-07-26

    申请号:CN200480009787.2

    申请日:2004-04-13

    CPC classification number: G01R1/06733

    Abstract: 本发明提供一种接触于被测定物的电极触点的探测器,所述探测器被一体成形,其具有连接于基板的连接端子部、具有尖锐形状的接触部、以及支撑该接触部的支撑部,其中,从支撑部前端伸出的接触部具有至少与支撑部共有同一侧面的剖面形状。该探测器具有不易附有异物、不易变形、以及长期保持良好的电性接触等特性。

    金属结构及其制造方法
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100430513C

    公开(公告)日:2008-11-05

    申请号:CN200480009811.2

    申请日:2004-04-12

    CPC classification number: C22F1/10 G01R1/06733 G01R1/0675 G01R1/06755

    Abstract: 本发明提供一种金属结构,其脆度减小且在硬度和抗蠕变性方面性质优良,其特征在于该金属结构在比金属材料的晶体开始增大时的温度低的温度下经历退火。一种用于制造更少受脆化影响且在硬度和抗蠕变性方面性质优良的金属结构的方法,其特征在于包括步骤:在比金属材料的晶体开始增大时的温度低的温度下对该结构退火。该金属结构可含有两种或更多种金属材料,其已经在比所述金属材料的晶体开始增大时的温度低的温度下经历了退火。该金属结构可以特别有利于用于精细结构例如接触探针。

    金属结构及其制造方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1774522A

    公开(公告)日:2006-05-17

    申请号:CN200480009811.2

    申请日:2004-04-12

    CPC classification number: C22F1/10 G01R1/06733 G01R1/0675 G01R1/06755

    Abstract: 本发明提供一种金属结构,其脆度减小且在硬度和抗蠕变性方面性质优良,其特征在于该金属结构在比金属材料的晶体开始增大时的温度低的温度下经历退火。一种用于制造更少受脆化影响且在硬度和抗蠕变性方面性质优良的金属结构的方法,其特征在于包括步骤:在比金属材料的晶体开始增大时的温度低的温度下对该结构退火。该金属结构可含有两种或更多种金属材料,其已经在比所述金属材料的晶体开始增大时的温度低的温度下经历了退火。该金属结构可以特别有利于用于精细结构例如接触探针。

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