公开(公告)号：CN116234778A

公开(公告)日：2023-06-06

申请号：CN202180066014.1

申请日：2021-09-27

Applicant: 住友电气工业株式会社

Inventor： 石川真二 ,  春名彻也 ,  森田圭省 ,  长谷川达郎 ,  荒川盛司

IPC: C03B8/04

Abstract: 一种含氟石英玻璃的制造方法，具有：在设置在具有气密性的容器内的炉心管内插入多孔石英玻璃体，然后在加热所述炉心管内的同时进行减压脱气的脱气工序；在减压下，向所述炉心管内供给氟化合物气体，并对所述多孔石英玻璃体进行热处理的氟添加工序；以及在减压下，在比所述脱气工序和所述氟添加工序的温度高的温度对所述多孔石英玻璃体进行加热处理的透明玻璃化工序。

公开(公告)号：CN116209640A

公开(公告)日：2023-06-02

申请号：CN202180066131.8

申请日：2021-09-27

Applicant: 住友电气工业株式会社

Inventor： 春名徹也 ,  石川真二 ,  森田圭省 ,  长谷川达郎 ,  荒川盛司

IPC: C03B20/00

Abstract: 一种含氟二氧化硅玻璃的制造方法，具有：脱气工序，将多孔二氧化硅玻璃体插入到设置于具有气密性的容器内的炉心管内，然后一边对所述炉心管内进行加热一边进行减压脱气；供给工序，在减压下向所述炉心管内供给氟化合物气体；氟添加工序，一边在向所述炉心管内供给所述氟化合物气体的同时从所述炉心管内排出气体，一边在减压下对所述多孔二氧化硅玻璃体进行热处理；以及透明玻璃化工序，在比所述脱气工序以及所述氟添加工序的温度高的温度下在减压气氛中进行加热处理。