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公开(公告)号：CN116157354A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202180058559.8
申请日：2021-04-26
Applicant: 住友精密工业株式会社
Inventor： 德竹滋和
IPC: C01B13/11
Abstract: 控制装置具有存储部，该存储部根据臭氧产生部中的不同的气体流量，存储表示电源输出和与电源输出对应的臭氧浓度之间的关系的两个以上的函数。控制装置根据臭氧产生部的设定臭氧浓度、表示臭氧产生部的气体流量的指标、检测臭氧浓度以及多个所述函数，来求出与设定臭氧浓度对应的第一电源输出和与检测臭氧浓度对应的第二电源输出，根据第一电源输出和第二电源输出之差，来执行控制电源输出的反馈控制。
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