公开(公告)号：CN101344123B

公开(公告)日：2010-06-23

申请号：CN200810135690.6

申请日：2008-07-09

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 中岛龙太 ,  野本刚 ,  细畠拓也

IPC: F16C32/06 ,  G12B5/00

CPC classification number: F16C29/025 ,  F16C32/0618 ,  F16C32/0666 ,  F16C33/748 ,  F16C2380/18

Abstract: 一种能够防止粒子飞散到装置周边的静压轴承。即使在为了在滑行面(2a)上浮起而从喷出面(11a)对滑行面(2a)喷出空气(A1)，空气被吹到进入在载物台(2)的表面上形成的微细的孔部的粒子(P)、或附着在载物台表面上的粒子(P)上的情况下，通过配置在喷出部(11)的外周侧的吸引面(12a)，将所吹的空气(A1)的一部分即空气(A2)与粒子(P)一起吸引回收。并且，将吸引面(12a)配置为比喷出面(11a)的下端后退，而容易使粒子(P)的吸引和空气的喷出平衡，由此，使静压轴承(10)在滑行面(2a)上浮起并非接触地滑行，并且可靠地捕捉向载物台装置(1)周边飞散的粒子(P)。

公开(公告)号：CN109475895A

公开(公告)日：2019-03-15

申请号：CN201780041443.7

申请日：2017-08-03

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 野本刚 ,  冈本裕司

IPC: B05C5/00 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26 ,  B05D3/00 ,  B41J2/01 ,  G06F3/041 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供一种膜形成方法及膜形成装置，一边使基板相对于喷墨头相对移动，一边基于用于定义应形成膜的图案的图案数据，从喷墨头向基板吐出液滴而在所述基板形成膜。喷墨头和基板的相对移动方向与由图案数据所定义的图案的最小尺寸的方向正交。能够利用喷墨印刷技术，高精细度地形成图案中的赋予最小尺寸的边缘。

公开(公告)号：CN101344123A

公开(公告)日：2009-01-14

申请号：CN200810135690.6

申请日：2008-07-09

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 中岛龙太 ,  野本刚 ,  细畠拓也

IPC: F16C32/06 ,  G12B5/00

CPC classification number: F16C29/025 ,  F16C32/0618 ,  F16C32/0666 ,  F16C33/748 ,  F16C2380/18

Abstract: 一种能够防止粒子飞散到装置周边的静压轴承。即使在为了在滑行面(2a)上浮起而从喷出面(11a)对滑行面(2a)喷出空气(A1)，空气被吹到进入在载物台(2)的表面上形成的微细的孔部的粒子(P)、或附着在载物台表面上的粒子(P)上的情况下，通过配置在喷出部(11)的外周侧的吸引面(12a)，将所吹的空气(A1)的一部分即空气(A2)与粒子(P)一起吸引回收。并且，将吸引面(12a)配置为比喷出面(11a)的下端后退，而容易使粒子(P)的吸引和空气的喷出平衡，由此，使静压轴承(10)在滑行面(2a)上浮起并非接触地滑行，并且可靠地捕捉向载物台装置(1)周边飞散的粒子(P)。