公开(公告)号：CN203992695U

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201420446877.9

申请日：2014-08-10

Applicant: 佳木斯大学

Inventor： 李小海 ,  刘武奇 ,  孙赵宁 ,  王新荣 ,  张霞 ,  史立秋 ,  王晓霞 ,  丁海娟

IPC: B23H5/00

Abstract: 本实用新型涉及一种光纤激光掩膜微细电解复合加工装置，它主要由：机床立轴、Z轴进给工作台、电解液箱、电解液槽、XY轴进给工作台、工具电极、工控机、脉冲电源、光纤激光器等构成。Ｚ轴进给工作台安装在机床立轴上，激光扫描头安装在Ｚ轴进给工作台上，工具电极安装在Z轴进给工作台下端的夹具上，XY轴进给工作台上装有电解液槽，电解液箱与导管相连接，光纤激光器一端与接口相连接，另一端与工控机相连接，脉冲电源一端与工具电极相连接，另一端与电解液槽相连接，工控机与Z轴进给工作台、XY轴进给工作台相连接。该其装置结构简单，制造成本低，加工精度高，克服了超窄脉冲微细电解加工中纳秒甚至皮秒级脉冲电源难以实现和控制的问题。