公开(公告)号：CN102575992A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201080024399.7

申请日：2010-06-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 小关泰之 ,  伊东一良 ,  岳文宏 ,  福井希一 ,  梶山慎一郎 ,  北川雄真 ,  西泽典彦 ,  住村和彦

IPC: G01N21/65 ,  G02B21/00

CPC classification number: G01J3/4412 ,  G01N21/65 ,  G02B21/06 ,  G02B21/365

Abstract: 得到一种光学显微镜，抑制光源系统的复杂化，即使在为了降低激光的强度噪音的影响而提高了调制频率的情况下，也能够容易地对应。对试件(6)照射第一光脉冲串和第二光脉冲串，所述第一光脉冲串具有第一光频率，所述第二光脉冲串与所述第一光脉冲串在时间上同步，并且具有第二光频率，所述光学显微镜(100)检测来自所述试件(6)的散射光，所述第一光学生成的光脉冲串的重复频率是所述第二光源生成的光脉冲串的重复频率的整数分之一。

公开(公告)号：CN102575992B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201080024399.7

申请日：2010-06-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 小关泰之 ,  伊东一良 ,  岳文宏 ,  福井希一 ,  梶山慎一郎 ,  北川雄真 ,  西泽典彦 ,  住村和彦

IPC: G01N21/65 ,  G02B21/00

CPC classification number: G01J3/4412 ,  G01N21/65 ,  G02B21/06 ,  G02B21/365

Abstract: 得到一种光学显微镜，抑制光源系统的复杂化，即使在为了降低激光的强度噪音的影响而提高了调制频率的情况下，也能够容易地对应。对试件(6)照射第一光脉冲串和第二光脉冲串，所述第一光脉冲串具有第一光频率，所述第二光脉冲串与所述第一光脉冲串在时间上同步，并且具有第二光频率，所述光学显微镜(100)检测来自所述试件(6)的散射光，所述第一光学生成的光脉冲串的重复频率是所述第二光源生成的光脉冲串的重复频率的整数分之一。