光扫描设备
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102096191A

    公开(公告)日:2011-06-15

    申请号:CN201010625032.2

    申请日:2010-12-14

    Inventor: 岩崎友哉

    CPC classification number: G02B26/105

    Abstract: 在光扫描设备中,改进镜子部件的平坦度。该光扫描设备包括:具有开口部分的基底;位于基底的开口部分的镜子部件,该镜子部件具有通过横梁保持的侧端部;以及设置在基底上的振动源,该振动源使基底弯曲从而使镜子部件在作为枢轴的横梁上摆动。通过振动源摆动的镜子部件反射照射光用于扫描操作。镜子部件由金属底板和通过弹性粘结剂粘结到金属底板上的镜面构件组成。

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