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发明公开
成膜用材料、成膜用浆料、喷涂被膜和喷涂构件审中-实审

公开(公告)号：CN116867924A

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202180092120.7

申请日：2021-12-22

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 岩崎凌 , 木村裕司 , 中村成亨 , 中野瑞 , 丸小滉平

IPC: C23C4/04

Abstract: 使用成膜用材料形成被膜，该成膜用材料含有包含稀土元素氟化物的晶相的粒子、包含稀土元素氧化物的晶相的粒子和包含稀土元素氟化铵复盐的晶相的粒子的成膜用材料，或者该成膜用材料含有包含稀土元素氟化物的晶相的粒子和包含稀土元素氧化物的晶相和稀土元素氟化铵复盐的晶相的粒子。就本发明的成膜用材料或成膜用浆料而言，特别是如果使用成膜用材料或成膜用浆料采用喷涂来形成喷涂被膜，则能够不需要过剩的热量地形成稀土元素氧氟化物喷涂被膜，因此即使在大气下也抑制喷涂热引起的氧化反应的进行，同时得到稀土元素氟化物和稀土元素氧化物少的稀土元素氧氟化物喷涂被膜，另外，能够抑制过剩的热量导致的被膜剥离。

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