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公开(公告)号:CN100398413C
公开(公告)日:2008-07-02
申请号:CN200610054951.2
申请日:2006-02-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F1/64 , G03F1/66 , G03F7/70741 , G03F7/70983
Abstract: 本发明提供收纳防护胶膜组件不会附着异物且可防止防护胶膜组件的污损而维持质量的照相平版印刷用防护胶膜组件收纳容器,其由用以载置防护胶膜组件的容器本体、及覆盖防护胶膜组件且边缘部与容器本体互相嵌合固定的盖体所构成的防护胶膜组件收纳容器,将框架保持销插入设于防护胶膜框架外侧面的孔来保持防护胶膜组件。该容器本体为树脂、该容器本体接合着金属构件、对保持防护胶膜组件的该框架保持销进行定位的定位构件及组装于容器本体的该金属构件是以机械方式进行连结、以及保持防护胶膜组件的该框架保持销与防护胶膜框架的接触部设置着弹性体时为佳,此外,该容器本体及该盖体的材质为树脂且具有表面电阻值为每单位面积1×1012Ω以下的防静电性能更佳。
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公开(公告)号:CN101086612B
公开(公告)日:2010-09-15
申请号:CN200710108267.2
申请日:2007-06-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor: 野崎聪
IPC: G03F1/14 , H01L21/027 , B65D85/30
Abstract: 本发明的目的在于提供一种光刻用防护薄膜组件收纳容器,其在保管、输送、操作中能防止所收纳的防护薄膜组件污损并维持品质。本发明的防护薄膜组件收纳容器,是由载置防护薄膜组件的容器本体,以及覆盖、保护防护薄膜组件且与容器本体彼此在周缘部嵌合卡止的盖体所构成,其特征为:预先设计制作成凸出形状,使盖体不会因为本身重量而弯曲附着于防护薄膜上。
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公开(公告)号:CN101164835A
公开(公告)日:2008-04-23
申请号:CN200710162591.2
申请日:2007-10-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 一种防护薄膜组件包装用缓冲体,本发明的防护薄膜组件包装用缓冲体(1)于防护薄膜组件的输送容器(6)内,设置凹凸部(2)于配置在防护薄膜组件壳体(3)的底面的该缓冲体(1)的表面,而该表面是接触防护薄膜组件壳体(3)。通过使用此缓冲体(1)的防护薄膜组件的包装方法,相较于现有所用的平板状缓冲体,可大幅提高缓冲效果。因此,能减少运送时的振动、撞击,且可在防护薄膜组件上未附着异物而不受污染的状态下,将其保持洁净状态而输送。
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公开(公告)号:CN101164835B
公开(公告)日:2010-06-02
申请号:CN200710162591.2
申请日:2007-10-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 一种防护薄膜组件包装用缓冲体,本发明的防护薄膜组件包装用缓冲体(1)于防护薄膜组件的输送容器(6)内,设置凹凸部(2)于配置在防护薄膜组件壳体(3)的底面的该缓冲体(1)的表面,而该表面是接触防护薄膜组件壳体(3)。通过使用此缓冲体(1)的防护薄膜组件的包装方法,相较于现有所用的平板状缓冲体,可大幅提高缓冲效果。因此,能减少运送时的振动、撞击,且可在防护薄膜组件上未附着异物而不受污染的状态下,将其保持洁净状态而输送。
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公开(公告)号:CN1836988A
公开(公告)日:2006-09-27
申请号:CN200610054951.2
申请日:2006-02-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F1/64 , G03F1/66 , G03F7/70741 , G03F7/70983
Abstract: 本发明提供收纳防护胶膜组件不会附着异物且可防止防护胶膜组件的污损而维持质量的照相平版印刷用防护胶膜组件收纳容器,其由用以载置防护胶膜组件的容器本体、及覆盖防护胶膜组件且边缘部与容器本体互相嵌合固定的盖体所构成的防护胶膜组件收纳容器,将框架保持销插入设于防护胶膜框架外侧面的孔来保持防护胶膜组件。该容器本体为树脂、该容器本体接合着金属构件、对保持防护胶膜组件的该框架保持销进行定位的定位构件及组装于容器本体的该金属构件是以机械方式进行连结、以及保持防护胶膜组件的该框架保持销与防护胶膜框架的接触部设置着弹性体时为佳,此外,该容器本体及该盖体的材质为树脂且具有表面电阻值为1×1012Ω/□以下的防静电性能更佳。
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公开(公告)号:CN102437074A
公开(公告)日:2012-05-02
申请号:CN201110252364.5
申请日:2011-08-30
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor: 野崎聪
IPC: H01L21/673
CPC classification number: B65D81/02
Abstract: 一种防尘薄膜组件收纳容器,其中,使防尘薄膜组件容器的盖与盘结合在一起的角部夹的材质使用硬度为D58-D64的树脂,而且最好使用聚氨酯树脂或者聚乙烯树脂。
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公开(公告)号:CN101086612A
公开(公告)日:2007-12-12
申请号:CN200710108267.2
申请日:2007-06-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor: 野崎聪
IPC: G03F1/14 , H01L21/027 , B65D85/30
Abstract: 本发明的目的在于提供一种光刻用防护薄膜组件收纳容器,其在保管、输送、操作中能防止所收纳的防护薄膜组件污损并维持品质。本发明的防护薄膜组件收纳容器,是由载置防护薄膜组件的容器本体,以及覆盖、保护防护薄膜组件且与容器本体彼此在周缘部嵌合卡止的盖体所构成,其特征为:预先设计制作成凸出形状,使盖体不会因为本身重量而弯曲附着于防护薄膜上。
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