公开(公告)号：CN112512980B

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN201980049659.7

申请日：2019-08-02

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 野田直人 ,  井上大 ,  饭沼均 ,  水上博公

IPC: C03B37/018 ,  C03B8/04

Abstract: 根据本发明，抑制了供给到气化器的有机硅氧烷液体原料的流量变动，并且使二氧化硅微粒的沉积密度均匀。在根据本发明的制造多孔玻璃基材的方法中，内压为P1的原料罐中储存的有机硅氧烷液体原料被质量流量控制器控制为预定的流量，经过内压为P2的配管并被供给到气化器。液体原料在气化器中气化，并作为气体原料供给到燃烧器。气体原料被燃烧器燃烧以沉积由此生成的二氧化硅微粒并形成多孔玻璃基材。本发明的特征在于在上述制造方法中P1≤P2。

公开(公告)号：CN114436522A

公开(公告)日：2022-05-06

申请号：CN202111265447.8

申请日：2021-10-28

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 野田直人

IPC: C03B37/018

Abstract: 本发明涉及多孔玻璃基材的制造方法和制造设备。当将处于液体状态的有机硅氧烷用作玻璃颗粒的原料时，在原料于气化器中气化时抑制聚合物质的形成。在根据本发明的多孔玻璃基材的制造方法中，将作为原料的液体有机硅氧烷与载气在气化器中混合，通过从由加热器单元加热的气化器的内壁产生的热而气化，并且供给至燃烧器作为气体原料。多孔玻璃基材通过将由气体原料的燃烧产生的玻璃颗粒沉积在起始材料上来制造。控制加热器单元的加热输出，使得气化器的内壁的最高温度为230℃以下。

公开(公告)号：CN113387559B

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：CN202110228353.7

申请日：2021-02-26

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 野田直人

IPC: C03B37/014

Abstract: 一种制造光纤用多孔玻璃基材的方法，该方法包括以下步骤：将从原料槽供应的有机硅氧烷原料进给到汽化器；将原料和载气在汽化器中混合并汽化；以及通过将原料和载气的混合气体供应至光纤用多孔玻璃基材制造设备中的燃烧器，通过燃烧反应来外部沉积SiO2细颗粒。在开始向燃烧器的原料气体供应管供应原料之前，通过将60℃以上的吹扫气体流入原料气体供应管以及将可燃气体和助燃气体供应到燃烧器以在燃烧器出口处形成氢氧焰从而使得燃烧器的外表面温度为60℃以上，来预热燃烧器和光纤用多孔玻璃基材制造设备的内部。当原料气体供应管的容积是V[L]且气体流速为Q[SLM]时，吹扫气体以满足Q/V>350[min‑1]的流速流动。

公开(公告)号：CN118206272A

公开(公告)日：2024-06-18

申请号：CN202311652942.3

申请日：2023-12-05

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 野田直人 ,  饭沼均

IPC: C03B19/14 ,  C03B37/014 ,  C03B37/018 ,  C03C11/00 ,  C03C13/04

Abstract: 多孔玻璃基材制造系统和用于制造玻璃基材的方法。多孔玻璃基材制造系统包括：原料供应设备和多孔玻璃基材制造设备。原料供应设备包括：原料箱，其中储存有处于液态的有机硅氧烷原料，并且剩余空间填充有非活性气体；液体供给泵，其用于从原料箱泵送有机硅氧烷原料；循环管道和分支管道，其供所泵送的原料通过；液体质量流控制器，其将通过分支管道的有机硅氧烷原料的流量控制到预定流量；和蒸发器，其设置在质量流控制器的下游以蒸发有机硅氧烷原料。多孔玻璃基材制造设备安装在建筑物的室内并且配备有燃烧有机硅氧烷原料以生产二氧化硅细颗粒的燃烧器。原料供应设备安装在室外或单独的建筑物的室内。

公开(公告)号：CN115485246A

公开(公告)日：2022-12-16

申请号：CN202180031626.7

申请日：2021-04-07

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 野田直人

IPC: C03B8/04 ,  C03B37/018

Abstract: 本发明提供能够防止原料气体的再液化的多孔玻璃基材制造装置。多孔玻璃基材制造装置向沿着起始基材的长度方向相对于起始基材相对移动的燃烧器组的火焰放出有机硅氧烷原料的气体，起始基材以沿着长度方向的旋转轴线为中心旋转，在起始基材的表面形成多孔玻璃微粒的烟炱。该多孔玻璃基材制造装置包括：气化器，其使从原料罐供给的包含液体状态的有机硅氧烷的液体原料气化，从而成为原料气体和载气混合而成的原料混合气体；以及原料气体配管，其将原料混合气体供给至燃烧器。利用组合设于原料气体配管的外侧的内侧绝热材料和设于内侧绝热材料的外侧的外侧绝热材料组合而成的双层绝热，对原料气体配管进行绝热并保温。

公开(公告)号：CN113387559A

公开(公告)日：2021-09-14

申请号：CN202110228353.7

申请日：2021-02-26

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 野田直人

IPC: C03B37/014

Abstract: 一种制造光纤用多孔玻璃基材的方法，该方法包括以下步骤：将从原料槽供应的有机硅氧烷原料进给到汽化器；将原料和载气在汽化器中混合并汽化；以及通过将原料和载气的混合气体供应至光纤用多孔玻璃基材制造设备中的燃烧器，通过燃烧反应来外部沉积SiO2细颗粒。在开始向燃烧器的原料气体供应管供应原料之前，通过将60℃以上的吹扫气体流入原料气体供应管以及将可燃气体和助燃气体供应到燃烧器以在燃烧器出口处形成氢氧焰从而使得燃烧器的外表面温度为60℃以上，来预热燃烧器和光纤用多孔玻璃基材制造设备的内部。当原料气体供应管的容积是V[L]且气体流速为Q[SLM]时，吹扫气体以满足Q/V>350[min‑1]的流速流动。

公开(公告)号：CN114620934A

公开(公告)日：2022-06-14

申请号：CN202111462967.8

申请日：2021-12-02

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 野田直人

IPC: C03B37/014 ,  C03B19/14 ,  C03B8/04

Abstract: [问题]本发明提供一种使用有机硅氧烷原料的多孔质玻璃母材的制造方法及制造装置。[解决手段]本实施方式的多孔质玻璃母材的制造装置12将作为原料的液体状态的有机硅氧烷与载气在气化器6内混合，通过加热使之气化后作为气体原料供给到燃烧器13，使通过气体原料的燃烧而产生的玻璃微粒子沉积在起始材料上，由此制造多孔质玻璃母材，且具备将载气中的水分去除后将载气供给到气化器的水分去除机构8。由此，在使用液体状态的有机硅氧烷作为玻璃微粒子的原料的情况下，可抑制在气化器内气化时产生聚合物质。

公开(公告)号：CN112512980A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN201980049659.7

申请日：2019-08-02

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 野田直人 ,  井上大 ,  饭沼均 ,  水上博公

IPC: C03B37/018 ,  C03B8/04

Abstract: 根据本发明，抑制了供给到气化器的有机硅氧烷液体原料的流量变动，并且使二氧化硅微粒的沉积密度均匀。在根据本发明的制造多孔玻璃基材的方法中，内压为P1的原料罐中储存的有机硅氧烷液体原料被质量流量控制器控制为预定的流量，经过内压为P2的配管并被供给到气化器。液体原料在气化器中气化，并作为气体原料供给到燃烧器。气体原料被燃烧器燃烧以沉积由此生成的二氧化硅微粒并形成多孔玻璃基材。本发明的特征在于在上述制造方法中P1≤P2。

公开(公告)号：CN112062461A

公开(公告)日：2020-12-11

申请号：CN202010521816.4

申请日：2020-06-10

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 野田直人 ,  饭沼均

IPC: C03B37/018

Abstract: 本发明涉及光纤用多孔玻璃基材的制造设备和制造方法。光纤用多孔玻璃基材的制造设备，其包括：用于控制有机硅氧烷的原料液的流量的液体质量流量控制器；用于混合原料液和载气并气化原料液从而形成其中原料气体和载气混合的混合气体的气化器；用于将原料液喷射至气化器中的原料液喷嘴；用于将载气供给至气化器中的载气供给配管；用于将供给自液体质量流量控制器的原料液引入至原料液喷嘴中的原料液配管；用于将混合气体与可燃气体和助燃气体一起燃烧来产生SiO2细颗粒的燃烧器；用于将混合气体供给至燃烧器的混合气体配管；设置在原料液配管的流路上的开关阀；和连接到开关阀与原料液喷嘴之间的原料液配管上来供给吹扫气体的吹扫气体供给配管。

公开(公告)号：CN110342807A

公开(公告)日：2019-10-18

申请号：CN201910213190.8

申请日：2019-03-20

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 野田直人 ,  饭沼均 ,  井上大

IPC: C03B37/014

Abstract: 本发明提供一种光纤用多孔质玻璃母材的制造装置及制造方法，使用液体状态的有机硅化合物原料作为硅化合物原料，防止因在通向燃烧器的配管中的由加热不均所致的局部性液化或聚合物的生成导致的配管堵塞，可在起始材料上稳定地沉积SiO2微粒子。所述制造方法包括如下步骤：将液体状态的有机硅化合物原料与载气供给至气化器；在该气化器中将液体状态的有机硅化合物原料与载气混合并气化而转换为原料混合气体；将该原料混合气体与可燃性气体供给至燃烧器使之燃烧，并使所生成的SiO2微粒子从燃烧器喷出；及通过该气化器与燃烧器同步并一体地相对于起始材料的长度方向平行地反复移动，将从燃烧器喷出的SiO2微粒子沉积在起始材料上。