公开(公告)号：CN111954586B

公开(公告)日：2023-05-26

申请号：CN201980025003.1

申请日：2019-04-10

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 上林佳一

IPC: B24B27/06 ,  B24B57/02 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明为一种锭的切断方法，由在多个导线器之间呈螺旋状卷绕且在轴向上移动的金属线形成金属线列，一边从喷嘴向锭与所述金属线的接触部供给浆料，一边将所述锭抵靠至所述金属线列，从而将所述锭切断成晶圆状，其中，从所述喷嘴的、与所述金属线列的移动方向正交的两个以上区间分别供给通过两个以上系统的热交换器单独进行温度控制的浆料，而进行所述浆料的供给。由此，提供能够根据锭的切断部位而进行晶圆形状的单独控制的线锯及锭的切断方法。

公开(公告)号：CN110447089A

公开(公告)日：2019-11-12

申请号：CN201880019227.7

申请日：2018-03-02

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 上林佳一

IPC: H01L21/304 ,  B24B27/06 ,  B24B55/02 ,  B28D5/04

Abstract: 本发明提供一种铸块的切断方法，该方法通过线锯进行，该线锯以螺旋状卷绕于多个导线器间的于轴向移动的钢线而形成钢线列，将由工件输送机构保持的铸块切入进给至该钢线列，向该铸块与该钢线的接触部供给浆料并将该铸块切断为多个晶圆，其特征在于，预先确认通过切断前一次的铸块所得的晶圆的钢线移动方向的翘曲的朝向；接着，通过以工件输送方向的翘曲的朝向与经确认的该钢线移动方向的翘曲的朝向一致的条件进行该铸块的切断，而得到钢线移动方向的翘曲的朝向与工件输送方向的翘曲的朝向相同的晶圆。由此，提供能够得到在经过外延处理后的面内不易产生波纹的晶圆的铸块的切断方法。

公开(公告)号：CN106132631B

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：CN201580012652.X

申请日：2015-03-06

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 上林佳一

IPC: B24B27/06 ,  B24B57/02 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/007 ,  B24B27/0633 ,  B28D5/045 ,  C09K3/1463 ,  Y02P70/179

Abstract: 一种工件的切断方法，以螺旋状卷绕且轴方向行进的钢线而于多个导线器间形成钢线列，且在供给含有磨粒的加工液至工件与钢线的接触部的同时，将工件压抵于钢线列，而将工件切断，其中以硫酸与过氧化氢水的混合液对使用过的磨粒进行处理，将处理后的磨粒重复使用于工件的切断。如此一来，工件的切断中所使用的线锯装置重复使用磨粒时，能使金属杂质对于晶圆的污染受到抑制。

公开(公告)号：CN106132631A

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：CN201580012652.X

申请日：2015-03-06

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 上林佳一

IPC: B24B27/06 ,  B24B57/02 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/007 ,  B24B27/0633 ,  B28D5/045 ,  C09K3/1463 ,  Y02P70/179

Abstract: 一种工件的切断方法，以螺旋状卷绕且轴方向行进的钢线而于多个导线器间形成钢线列，且在供给含有磨粒的加工液至工件与钢线的接触部的同时，将工件压抵于钢线列，而将工件切断，其中以硫酸与过氧化氢水的混合液对使用过的磨粒进行处理，将处理后的磨粒重复使用于工件的切断。如此一来，工件的切断中所使用的线锯装置重复使用磨粒时，能使金属杂质对于晶圆的污染受到抑制。

公开(公告)号：CN110447089B

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN201880019227.7

申请日：2018-03-02

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 上林佳一

IPC: H01L21/304 ,  B24B27/06 ,  B24B55/02 ,  B28D5/04

Abstract: 本发明提供一种铸块的切断方法，该方法通过线锯进行，该线锯以螺旋状卷绕于多个导线器间的于轴向移动的钢线而形成钢线列，将由工件输送机构保持的铸块切入进给至该钢线列，向该铸块与该钢线的接触部供给浆料并将该铸块切断为多个晶圆，其特征在于，预先确认通过切断前一次的铸块所得的晶圆的钢线移动方向的翘曲的朝向；接着，通过以工件输送方向的翘曲的朝向与经确认的该钢线移动方向的翘曲的朝向一致的条件进行该铸块的切断，而得到钢线移动方向的翘曲的朝向与工件输送方向的翘曲的朝向相同的晶圆。由此，提供能够得到在经过外延处理后的面内不易产生波纹的晶圆的铸块的切断方法。

公开(公告)号：CN112008902A

公开(公告)日：2020-12-01

申请号：CN202010312870.8

申请日：2020-04-20

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 上林佳一

IPC: B28D5/04

Abstract: 本发明提供一种铸块的切断方法。技术问题：立即把握浆料的锋利度的降低并马上将其反映于切断条件。解决方案：一种铸块的切断方法，由呈螺旋状卷绕在多个导线器间并沿轴向移动的线材形成线材列，通过一边向铸块与所述线材的接触部供给浆料，一边将所述铸块以规定的输送速度抵靠于所述线材列，从而将所述铸块切断成晶圆状，其特征在于，测量从所述铸块切出的晶圆的厚度形状，在所述切出的晶圆的包含中央部且直径比所述切出的晶圆的直径小的圆内区域中，求出最厚部分与最薄部分的差分，并基于所述差分变更后续进行切断的铸块的切断条件。

公开(公告)号：CN105636742B

公开(公告)日：2017-06-23

申请号：CN201480056205.X

申请日：2014-10-27

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 上林佳一

IPC: B24B27/06 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/045 ,  B24B27/0633 ,  B28D7/02

Abstract: 本发明是一种工件的切断方法，其利用螺旋状地卷绕在多个线材导件之间且沿轴方向行进的钢线来形成钢线列，并将工件压抵至钢线列来实行工件的切断，其中，将使用于前次的工件的切断后的钢线再次使用来切断下一次的工件，该工件的切断方法相对于在前次的工件的切断中的钢线张力，将切断下一次的工件时的钢线张力设为87～95％的范围的值；相对于切断前次的工件时的新线供给量，将切断下次的工件时的新线供给量设为125％以上的范围的值，再次使用钢线来切断下一次的工件。由此，提供一种工件的切断方法，其将已使用于前次的工件切断中的使用过的钢线，以与前次的切断工件的条件不同的条件来切断工件，能够增加用同一条钢线能够切断的工件的个数，同时减少钢线发生断裂的情况，且抑制晶圆翘曲的加重。

公开(公告)号：CN112008902B

公开(公告)日：2024-12-03

申请号：CN202010312870.8

申请日：2020-04-20

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 上林佳一

IPC: B28D5/04

Abstract: 本发明提供一种铸块的切断方法。技术问题：立即把握浆料的锋利度的降低并马上将其反映于切断条件。解决方案：一种铸块的切断方法，由呈螺旋状卷绕在多个导线器间并沿轴向移动的线材形成线材列，通过一边向铸块与所述线材的接触部供给浆料，一边将所述铸块以规定的输送速度抵靠于所述线材列，从而将所述铸块切断成晶圆状，其特征在于，测量从所述铸块切出的晶圆的厚度形状，在所述切出的晶圆的包含中央部且直径比所述切出的晶圆的直径小的圆内区域中，求出最厚部分与最薄部分的差分，并基于所述差分变更后续进行切断的铸块的切断条件。

公开(公告)号：CN111954586A

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN201980025003.1

申请日：2019-04-10

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 上林佳一

IPC: B24B27/06 ,  B24B57/02 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明为一种锭的切断方法，由在多个导线器之间呈螺旋状卷绕且在轴向上移动的金属线形成金属线列，一边从喷嘴向锭与所述金属线的接触部供给浆料，一边将所述锭抵靠至所述金属线列，从而将所述锭切断成晶圆状，其中，从所述喷嘴的、与所述金属线列的移动方向正交的两个以上区间分别供给通过两个以上系统的热交换器单独进行温度控制的浆料，而进行所述浆料的供给。由此，提供能够根据锭的切断部位而进行晶圆形状的单独控制的线锯及锭的切断方法。

公开(公告)号：CN105492164B

公开(公告)日：2017-08-22

申请号：CN201480045783.3

申请日：2014-07-24

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 上林佳一

IPC: B24B27/06 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/045 ,  B24B27/0633 ,  B28D5/0076 ,  B28D5/0082

Abstract: 本发明是一种晶棒的切断方法，其利用在多个钢线导件之间卷绕成螺旋状且在轴向行进的钢线来形成钢线列，并一边将加工液供给至晶棒与钢线的接触部，一边使晶棒压接至钢线列，以将晶棒切断成晶圆状，所述晶棒的切断方法的特征在于，在更换所述钢线后切断第一根所述晶棒时，相对于所述晶棒的中央部份的切断时，将所述晶棒的切断开始部分的切断时的每单位时间的钢线新线供给量的比率控制为：在更换所述钢线后切断第二根以后的所述晶棒时的所述比率的1/2以下。由此，提供一种晶棒的切断方法及线锯，其抑制从更换钢线后的第一根与从第二根以后的晶棒所切出的晶圆之间的厚度不均的偏差。