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发明公开
检查装置及检查方法审中-实审

公开(公告)号：CN116457930A

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN202180073886.0

申请日：2021-10-06

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 唐木阳一 , 市川进之介

IPC: H01L21/673

Abstract: 本发明提供一种检查装置，其对构成为包含透光性的透明部且收纳晶圆的收纳容器进行检查，其特征在于，包含：平坦型照明部，其配置为向所述收纳容器的包含所述透明部的至少一部分的被检查部照射光；以及相机，其配置为将所述收纳容器的所述被检查部夹在中间而与所述平坦型照明部对置，并构成为拍摄所述被检查部从而检测所述收纳容器的所述被检查部的异物和/或缺陷。由此，能够提供一种检查装置以及检查方法，其能够比人员进行的目视检查更可靠地检查出在晶圆的收纳容器内部是否存在异物或缺陷。

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