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    基板上の液体成分の測定方法および基板処理装置
    1.
    发明专利
    基板上の液体成分の測定方法および基板処理装置 有权
    基板上液体组分的测量方法和基板处理装置

    公开(公告)号：JP2016070669A

    公开(公告)日：2016-05-09

    申请号：JP2014196397

    申请日：2014-09-26

    Applicant: 倉敷紡績株式会社

    Inventor： 横田 博 ,  平木 哲 ,  安田 信義

    IPC: H01L21/304 ,  H01L21/306 ,  G01N21/3577 ,  G01N21/3554

    Abstract: 【課題】基板を処理しながら、基板上に存在する成分の量をその場で測定可能な基板上の液体成分の測定方法を提供する。 【解決手段】回転する基板W上に処理液Sを供給し、前記処理液の供給中および/または供給停止後に、前記基板上面に形成された前記処理液の液膜Fに赤外線IRを照射して反射光を受光し、所定波長における吸光度から前記処理液膜に含まれる1以上の成分の存在量を測定する、基板上の液体成分の測定方法である。 【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题：为了提供在能够在现场测量的基板上的液体成分的测量方法，在处理基板时存在于基板上的部件的量。解决方案：在液体组分的测量方法 将基板，处理液体S供给到旋转基板W上，并且在处理液体供给期间和/或供给停止后，将红外线IR照射到形成在基板上表面上的处理液体的液膜F， 接收反射光，并且从规定波长的吸光度测定处理液膜中所含的一种或多种成分的当量。选择的图：图1

    柔軟シート展開装置
    5.
    发明专利
    柔軟シート展開装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018164958A

    公开(公告)日：2018-10-25

    申请号：JP2017062278

    申请日：2017-03-28

    Applicant: 倉敷紡績株式会社

    Inventor： 樋川 英昭 ,  横田 博

    IPC: B65H47/00 ,  B25J13/00

    Abstract: 【課題】汎用性の高い柔軟シート展開装置を提供する。 【解決手段】柔軟シートSを把持する第1ハンドH1と、柔軟シートSを把持する第2ハンドH2と、第1ハンドH1を移動させる移動手段(第1ロボット10)とを有する柔軟シート展開装置1。展開装置1は、第1ハンドH1と第2ハンドH2とで柔軟シートSを把持した状態で、第1ハンドH1を第2ハンドH2から離間するように移動させて柔軟シートSを引っ張り、展開する。 【選択図】図1

    繊維強化樹脂用芯鞘複合糸及びこれを使用した繊維強化樹脂
    6.
    发明专利
    繊維強化樹脂用芯鞘複合糸及びこれを使用した繊維強化樹脂 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2019013091A1

    公开(公告)日：2020-05-21

    申请号：JP2018025499

    申请日：2018-07-05

    Applicant: 倉敷紡績株式会社

    Inventor： 粕谷 明 ,  横田 博

    IPC: D02G3/04 ,  D02G3/44 ,  C08J5/04 ,  D02G3/38

    Abstract: 芯糸2と被覆糸3,4を含む繊維強化樹脂用芯鞘複合糸1であって、芯糸は強度:14cN/decitex以上、弾性率:300cN/decitex以上のスーパー繊維糸であり、被覆糸3,4は炭素繊維糸、ガラス繊維糸、アラミド繊維糸及び高強度ポリエチレン繊維糸から選ばれる少なくとも一つであり、被覆糸3,4は、巻回方向の異なる少なくも2本の糸で芯糸1の周囲を被覆している。本発明の繊維強化樹脂は、芯鞘複合糸1をマトリックス樹脂と一体成形するか、又は芯鞘複合糸1を含む繊維構造物をマトリックス樹脂と一体成形したものである。これにより、衝撃エネルギー吸収性の高い繊維強化樹脂用芯鞘複合糸及びこれを使用した繊維強化樹脂を提供する。

    基板上の液体成分の測定方法および基板処理装置
    7.
    发明专利
    基板上の液体成分の測定方法および基板処理装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2019168460A

    公开(公告)日：2019-10-03

    申请号：JP2019083838

    申请日：2019-04-25

    Applicant: 倉敷紡績株式会社

    Inventor： 横田 博 ,  平木 哲 ,  安田 信義

    IPC: G01N21/59 ,  H01L21/306 ,  H01L21/304 ,  G01N21/3577

    Abstract: 【課題】基板を処理しながら、基板上に存在する成分の量をその場で測定可能な基板上の液体成分の測定方法を提供する。 【解決手段】回転する基板W上に処理液Sを供給し、前記処理液の供給中および/または供給停止後に、前記基板上面に形成された前記処理液の液膜Fに赤外線IRを照射して反射光を受光し、所定波長における吸光度から前記処理液膜に含まれる1以上の成分の存在量を測定する、基板上の液体成分の測定方法である。 【選択図】図1

    基板回転装置および基板処理装置
    8.
    发明专利
    基板回転装置および基板処理装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018029164A

    公开(公告)日：2018-02-22

    申请号：JP2016161587

    申请日：2016-08-20

    Applicant: 倉敷紡績株式会社

    Inventor： 横田 博 ,  樋川 英昭

    IPC: H01L21/304 ,  H01L21/027 ,  F16C32/04 ,  H01L21/683

    Abstract: 【課題】容器内の汚染源を減らし、より保守が容易な基板回転装置を提供すること。 【解決手段】磁場発生手段を備え、発生した磁場を中心軸の周りに回転可能な外枠体20と、前記外枠体の内側に配置された容器40と、前記容器内に配置され、基板60保持手段と周方向に分散配置された磁石または強磁性体とを備える内枠体50と、前記外枠体と前記内枠体を磁気的に結合して、該内枠体を浮上させるとともに、該内枠体を前記磁場の回転変化に追随させて回転させる磁気結合手段と、前記外枠体と前記内枠体の間隔を一定に保ち、該内枠体を該外枠体と同心に維持するギャップ調整手段とを有する基板回転装置10。 【選択図】図1

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