光源装置、曝光装置以及光源装置的判定方法

    公开(公告)号:CN111066376A

    公开(公告)日:2020-04-24

    申请号:CN201880058704.0

    申请日:2018-09-05

    Abstract: 本发明提供一种在用于印刷布线基板等的曝光的曝光装置中,具备用于以高精度、短时间且低成本识别成为光源的放电灯是否为正品、以及是新品还是旧品的判定用电路的光源装置。光源装置(100)利用成为光源的放电灯(110)、判定用电路(200)、和安装有放电灯(110)以及判定用电路(200)的反射器容器(151)而构成。并且,判定用电路(200)利用用于检测放电灯(110)是否为正品的RC并联电路(210)、和为了判别放电灯(110)是否为新品而相对于RC并联电路(210)串联连接的熔断器(220)而构成。

    发光装置
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102252264B

    公开(公告)日:2015-03-25

    申请号:CN201110087747.1

    申请日:2011-04-08

    Abstract: 本发明提供一种发光装置,在使来自点光源的光中的“平行的程度”或“汇聚的精度”提高的同时,能够进一步减小反射镜。其中,用碗状的反射镜(12)、点光源(14)、配设在点光源(14)的光轴(L)上的复合面透镜(16)构成发光装置(10),并且,用其焦点(F2)与点光源(14)一致、使以光轴(L)为中心的中央部分的光(L1)折射而形成平行光的凸透镜部(34)和配置在凸透镜部(34)的外周、使与光轴(L)所成的角度比中央部分的光(L1)大的光(L2)向角度变得更大的方向折射扩散的凹透镜部(36)构成复合面透镜(16),并且,使由凹透镜部(36)折射扩散后的光(L2)的虚拟焦点(Fv)与旋转抛物面的焦点(F1)一致,从而能够解决上述问题。

    光源装置、包含其的曝光装置、以及照度降低原因确认方法

    公开(公告)号:CN117950273A

    公开(公告)日:2024-04-30

    申请号:CN202311341237.1

    申请日:2023-10-17

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种由变脏引起的照度计的劣化较少,由此能够长期间持续准确的照度的测定,并且容易确定照度的降低的原因的光源装置。为此,使光源装置(12)由光源(16)、接收从光源(16)放射的光(L)并放射更均匀化的光(L)的积分透镜(20)、具有使来自积分透镜(20)的光(L)反射而向曝光面(A)引导的一个以上的反射镜(34、36)的光学系统(22)和照度计(24)构成。并且,在至少一个反射镜(34、36)的正面侧的反射区域(38)形成使反射镜(34、36)的表背面侧连通的贯通孔(40),由配置于贯通孔(40)的背面侧的照度计(24)测定通过贯通孔(40)而来的光(L)的一部分的照度。

    光照射装置以及具备该光照射装置的曝光装置

    公开(公告)号:CN115210636B

    公开(公告)日:2024-04-23

    申请号:CN202180015510.4

    申请日:2021-03-17

    Abstract: 提供一种能够以简单的结构实施光取向处理的曝光装置用的光照射装置。光照射装置(10)利用具有多个LED(16)的光源(12)和接受来自光源(12)的光(L)并向工件(X)照射透过后的光(L)的偏振元件(14)而构成。并且,将各LED(16)的光轴(CL)设定为相对于工件(X)具有第一角度(θ1),且将从各LED(16)放射的光(L)的配光角的一半的角度即第二角度(θ2)设定为比第一角度(θ1)小。

    放电灯点亮装置以及具备其的曝光装置

    公开(公告)号:CN117891136A

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN202311238171.3

    申请日:2023-09-25

    Abstract: 本发明的课题在于消除将点火器配置在电源的附近而来自放电灯的紫外线对点火器的不良影响,即提供一种无需配置在放电灯的附近的放电灯点亮装置。设置于使直流点亮型的放电灯(L)点亮的放电灯点亮装置(A)并经由延长电缆(C)启动、点亮放电灯(L)的放电灯点亮电路(10)具备放电灯点亮用的镇流器(12)和点亮启动用的点火器(14)。点火器(14)具备防逆流二极管(20)和高压电路(22),该防逆流二极管的输入侧与镇流器(12)的输出侧连接、输出侧与放电灯(L)连接,该高压电路与防逆流二极管(20)的输出侧连接,在点亮启动时输出施加于放电灯(L)的直流的高电压。

    偏振光照射装置、具备其的曝光装置以及偏振光照射方法

    公开(公告)号:CN115586673A

    公开(公告)日:2023-01-10

    申请号:CN202210639472.6

    申请日:2022-06-07

    Abstract: 本发明提供能提高对工件的偏振光照射能量分布的均匀性的偏振光照射装置。设置多个将具有光源(120)和与光源(120)对应的偏振元件(122)的多个光源组(114)在与工件(X)的输送方向正交的方向上排列的照射头(110)而构成偏振光照射装置(100)。将在一个照射头(110)中的偏振元件(122)彼此之间形成的边界部(130)以与该照射头(110)相邻的另一照射头(110)中的边界部(130)沿着工件(X)的输送方向重叠的方式排列。将形成于来自一个照射头(110)的偏振光(W)形成的照射边界部(Z)彼此之间的照射边界部(132)以与该照射头(110)相邻的另一照射头(110)中的照射边界部(132)沿工件(X)的输送方向不重叠的方式排列。

    光源装置及其点亮方法、具备光源装置的照射装置

    公开(公告)号:CN109491207B

    公开(公告)日:2022-08-19

    申请号:CN201810923540.5

    申请日:2018-08-14

    Abstract: 本发明提供能够将放电灯开始点亮时或熄灭时的反射器发生“破裂”的可能性极小化的光源装置。光源装置(100)包括作为光源的放电灯(110)、在自身的温度上升时电阻值上升且该温度降低时电阻值降低的电阻体(200)、以及安装有放电灯(110)和电阻体(200)的反射器容器(151)。而且,在开始放电灯(110)的点亮时,根据放电灯(110)的温度上升,使电阻体(200)加热反射器容器(151)的外表面。

    灯的密封结构体、灯以及灯的密封方法

    公开(公告)号:CN114388342A

    公开(公告)日:2022-04-22

    申请号:CN202110994168.9

    申请日:2021-08-27

    Abstract: 提供使得不易发生发光管的破损且不易发生照度不均的灯的密封结构体。具备包括气密的内部空间(24)及至少1个密封部(22)在内的发光管(12)的灯(10)的密封结构体按如下方式构成。在密封部(22)设置使内部空间(24)与外部连通的连通孔(26)。另外,在连通孔(26)的外侧端形成对连通孔(26)进行闭塞的尖端部(28)。

    发光装置
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101994938B

    公开(公告)日:2015-03-25

    申请号:CN201010257173.3

    申请日:2010-08-18

    Abstract: 本发明提供一种发光装置,在使用了具有较窄的发散光角特性的点光源的情况下,能够使出射光收敛于规定的角度内,并且能够按照较高的均匀度对照射范围进行照射。由点光源(12)和实心透明的导光体(14)构成发光装置(10),用通过在包含中心轴(CL)的平面(M)中通过一个受光面侧周缘点(A)以及另一个出光面侧周缘点(D)、并且将另一个受光面侧周缘点(B)作为焦点的抛物线(P)而得到的旋转面来规定导光体(14)的反射侧面(22),在导光体(14)的受光面(20)的中央部中,设置其表面是凹透镜(28)的凹部(26),从而能够解决技术问题。

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