公开(公告)号：CN101978241B

公开(公告)日：2013-05-29

申请号：CN200980109275.6

申请日：2009-03-19

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 米仓勋 ,  波木井秀充

IPC: G01B15/00 ,  G01N23/225 ,  H01J37/22 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01B15/04 ,  G01B2210/56 ,  G01N23/00 ,  G06T7/0006 ,  G06T7/13 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/30148 ,  G21K7/00 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/2809 ,  H01J2237/2817

Abstract: 一种微细结构体检查方法，用于检查样品微细结构图案的侧壁角度，其特征在于，具有：在多个SEM条件下拍摄所述样品微细结构图案的SEM照片的工序；测定所述SEM照片中的所述样品微细结构图案的边缘部位的白色带宽度的工序；基于所述白色带宽度随着所述多个SEM条件间的变化产生的变化量，计算出所述样品微细结构图案的侧壁角度的工序。

公开(公告)号：CN101978241A

公开(公告)日：2011-02-16

申请号：CN200980109275.6

申请日：2009-03-19

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 米仓勋 ,  波木井秀充

IPC: G01B15/00 ,  G01N23/225 ,  H01J37/22 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01B15/04 ,  G01B2210/56 ,  G01N23/00 ,  G06T7/0006 ,  G06T7/13 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/30148 ,  G21K7/00 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/2809 ,  H01J2237/2817

Abstract: 一种微细结构体检查方法，用于检查样品微细结构图案的侧壁角度，其特征在于，具有：在多个SEM条件下拍摄所述样品微细结构图案的SEM照片的工序；测定所述SEM照片中的所述样品微细结构图案的边缘部位的白色带宽度的工序；基于所述白色带宽度随着所述多个SEM条件间的变化产生的变化量，计算出所述样品微细结构图案的侧壁角度的工序。