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公开(公告)号:CN105798740A
公开(公告)日:2016-07-27
申请号:CN201510800623.1
申请日:2015-11-19
Applicant: 利优比株式会社
CPC classification number: B24B23/04 , B24B23/046 , B24B41/02 , B24B55/00
Abstract: 本发明提供一种降低了引起研磨品质的下降、研磨片的损伤的可能性的打磨机。该打磨机具备基座(50)、用于在基座(50)上固定研磨片(80)的夹持装置(60),该打磨机的特征在于,夹持装置(60)具备:在基座(50)的上表面侧端部设置的夹持面(61);以及能够按压夹持面(61)上的研磨片(80)而配置的夹持件(70),夹持面(61)朝着基座(50)的端面(53)方向向上倾斜。