-
公开(公告)号：CN1043846A
公开(公告)日：1990-07-11
申请号：CN88108991
申请日：1988-12-31
Applicant: 加州大学评议会
CPC classification number: B82Y10/00 , G03F7/70016 , H01J61/72 , H05H1/04 , H05H1/52 , Y10S148/045
Abstract: 等离子体收缩系统包括一台流体束收缩装置，用以建立一个等离子体源，该源是由一中心狭窄的受压流体蒸汽细流、以及周围环绕着稀薄汽相预处理云组成的。一台放电装置与流体束装置作电连接，用以供给通过流体蒸汽部分的、建立发射等离子体的非相干光的电流。一个用该等离子体收缩系统生产半导体的方法包括将半导体片子对等离子体发射的非相干光曝光，完成退火和腐蚀工艺。
Search Results
1
records
(took 0.025 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
