公开(公告)号：CN115684216B

公开(公告)日：2024-07-19

申请号：CN202211194182.1

申请日：2022-09-28

Applicant: 北京大学

Inventor： 时若晨 ,  韩博 ,  李晓梅 ,  罗强 ,  高鹏

IPC: G01N23/04 ,  G01N23/20 ,  G01N23/20008 ,  H01J37/28

Abstract: 一种利用特殊形状光阑测量原子分辨振动谱的方法，包括如下步骤：S1、将制备好的待测样品放入电镜，旋转待测样品至待测的带轴；S2、在电镜的电子束的汇聚半角为大汇聚半角下校正像散；S3、调整投影透镜参数使得所期望的收集区域位于特殊光阑的预留区域内；S4、插入所述特殊形状光阑使得所述特殊形状光阑位于所述预留区域内；S5、调整像散使得在电镜高角环形暗场像探头上能够清楚看到待测样品待测区域的原子分辨图像；S6、插入单色仪，限制通过电子束的能量，提高能量分辨率；S7、调整电子能量损失谱仪的能量分辨率至足够测到振动谱信号；S8、获得待测样品待测区域的原子分辨振动谱；所述特殊形状光阑为环形光阑或双矩形开口光阑。

公开(公告)号：CN115684216A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202211194182.1

申请日：2022-09-28

Applicant: 北京大学

Inventor： 时若晨 ,  韩博 ,  李晓梅 ,  罗强 ,  高鹏

IPC: G01N23/04 ,  G01N23/20 ,  G01N23/20008 ,  H01J37/28

Abstract: 一种利用特殊形状光阑测量原子分辨振动谱的方法，包括如下步骤：S1、将制备好的待测样品放入电镜，旋转待测样品至待测的带轴；S2、在电镜的电子束的汇聚半角为大汇聚半角下校正像散；S3、调整投影透镜参数使得所期望的收集区域位于特殊光阑的预留区域内；S4、插入所述特殊形状光阑使得所述特殊形状光阑位于所述预留区域内；S5、调整像散使得在电镜高角环形暗场像探头上能够清楚看到待测样品待测区域的原子分辨图像；S6、插入单色仪，限制通过电子束的能量，提高能量分辨率；S7、调整电子能量损失谱仪的能量分辨率至足够测到振动谱信号；S8、获得待测样品待测区域的原子分辨振动谱；所述特殊形状光阑为环形光阑或双矩形开口光阑。