一种高精度线偏振信息测量装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116465496A

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202310396982.X

    申请日:2023-04-13

    Abstract: 一种高精度线偏振信息测量装置,涉及半导体线偏振光信息测量相关技术领域。包括探测单元模块、电压处理模块、计算及输出模块三部分。两组通过电路串联且最大偏振敏感方向分别相差45°的4个探测器作为探测单元模块,当线偏振光照射下,在一定电源偏置下,探测单元模块产生两路电压,产生的电压仅与偏振角度有关;两路电压经过电压处理模块,分别通过编程增益的电压放大器和差值处理电路得到一路过滤了共模干扰的电压信号;最后将处理后的电压信号传递给计算及输出模块,模块中的计算单元通过计算处理通过通信的方式交给显示设备,得到可视化的线偏振信息。

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