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公开(公告)号：CN119786418A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411991672.3
申请日：2024-12-31
Applicant: 北京工业大学
IPC: H01L21/68 , H01L21/687 , B81C3/00
Abstract: 本发明公开了一种手动键合平台，涉及MEMS芯片制造技术领域。包括Z方向电动升降台、Y方向电动直线位移滑台、X方向电动直线位移滑台、电压源、位移台驱动器、芯片夹持器、格挡板、支撑杆、隔热板以及热源；Y方向电动直线位移滑台安装在Z方向电动升降台上，X方向电动直线位移滑台安装在Y方向电动直线位移滑台上，隔热板放置在X方向电动直线位移滑台上，热源设置在隔热板上，下芯片放置在热源上面；支撑杆固定安装在桌面上，格挡板与芯片夹持器与支撑杆固定连接；三个方向的移动滑台均与位移台驱动器电连接，热源与电压源电连接。本发明实现了芯片小面积键合，为MEMS芯片制造领域特别是芯片键合方向提供了新的解决思路。
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公开(公告)号：CN109580348A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811492915.3
申请日：2018-12-07
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N3/08 , G01N3/04 , G01N23/2202 , G01N23/2206
Abstract: 本发明涉及力学性能测试及微观原位表征技术领域，公开了一种材料力学性能原位测试装置及其测试系统，材料力学性能原位测试装置包括扫描电子显微镜以及置于扫描电子显微镜的腔体内的力学实验台；力学实验台包括支撑框架以及设于支撑框架上的夹具机构、驱动机构和测量机构；支撑框架连接扫描电子显微镜的移动平台，夹具机构包括用于同时夹持和加热样品的夹具；驱动机构用于驱动夹具机构，以使样品产生应力和应变；测量机构用于测量应力和应变。该材料力学性能原位测试装置的夹具机构能够同时夹持和加热样品，可以实现对样品进行原位高温、高精度、高应力的测试，实现了对力学性能试验的连续、稳定、精准的控制和监测。
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公开(公告)号：CN115046825A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202210674942.2
申请日：2022-06-14
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N1/28 , G01N23/04 , G01N23/20008
Abstract: 本发明提供一种透射电镜用原位拉伸样品保护装置及其制备方法，包括设置在MEMS力学芯片上的第一搭载侧、第二搭载侧，还包括第一拉伸辅助件、第二拉伸辅助件和载物件；第一拉伸辅助件连接MEMS力学芯片的第一搭载侧，载物件两端分别连接第二拉伸辅助件和第二搭载侧；第一拉伸辅助件与第二拉伸辅助件相嵌套成勾套结构。本发明通过在MEMS力学芯片上搭载原料块，然后切割，得到第一拉伸辅助件、第二拉伸辅助件以及载物件，并且保证第一拉伸辅助件嵌套于第二拉伸辅助件内部，形成勾套结构，由于形成了载物件，使得整个勾套自由选材，可对一维、二维材料及块状材料拉伸；设置载物件，可有效防止样品在拉伸断裂后掉落，避免透射电镜被污染。
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公开(公告)号：CN118347392A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410559164.1
申请日：2024-05-08
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明提供一种基于MEMS的线性差分电容式位移传感器，涉及微机电系统传感器领域，包括基体、芯片模块和测量模块，基体为半开口C字型结构，具有一端开口的空腔；芯片模块为支撑式悬空结构，包括设于空腔上方的差分电容位移传感层，差分电容位移传感层包括质量块，质量块两侧固定连接有多个可动梳齿，每个可动梳齿一端均交错排列有一个对应的固定梳齿，质量块带动可动梳齿轴向移动时，可动梳齿和对应的固定梳齿之间的电容值跟随改变；测量模块包括外接电容测量仪器，通过引线与差分电容位移传感层连接，能够测量可动梳齿和对应的固定梳齿之间的电容值。本发明传感器线性度优异，且加工工艺简单，可以有效简化位移标定过程，提升位移测量精度。
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公开(公告)号：CN111017866B
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202010028237.6
申请日：2020-01-10
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及高温微纳实验力学装置技术领域，公开了一种力热耦合微机电系统、原位力学平台及制造方法，其中力热耦合微机电系统包括基体、T形加热端、C形加热端、内部温度约束结构和驱动端温度约束结构，T形加热端的横杆部间隔地嵌套于C形加热端中，以形成样品搭载区；纵杆部伸出C形加热端的开口侧并连接于内部温度约束结构，内部温度约束结构安装于凹槽的槽底；C形加热端连接于驱动端温度约束结构，驱动端温度约束结构安装于凹槽的槽口。该力热耦合微机电系统通过设置相互配合的T形加热端和C形加热端，可以减少加热区域热质，降低功率，减小热漂移，可以实现样品拉压、剪切等力学加载同时结合加热升温的原位原子分辨的力热耦合测试。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117232953A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202310984258.9
申请日：2023-08-07
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及透射电子显微镜原子尺度原位力学研究技术领域，提供一种原位力学微机电装置、系统及双轴倾转样品杆，第一位移件通过第一力学测量组件设于基体的第一镂空腔，第一位移件延伸至基体的第三镂空腔，并在第一位移件的延伸端设有第一样品搭载部；第二位移件通过第二力学测量组件设于基体的第二镂空腔，第二位移件延伸至第三镂空腔，并在第二位移件的延伸端设有第二样品搭载部，第二样品搭载部与第一样品搭载部嵌套设置；其中，第一位移件和第二位移件中的一个固定设置，第一位移件和第二位移件中的另一个连接有驱动部件。本发明提供的原位力学微机电装置可在原子尺度表征样品时，同时对样品所受载荷及形变量进行高力学分辨的稳定测量。
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公开(公告)号：CN111017866A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN202010028237.6
申请日：2020-01-10
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及高温微纳实验力学装置技术领域，公开了一种力热耦合微机电系统、原位力学平台及制造方法，其中力热耦合微机电系统包括基体、T形加热端、C形加热端、内部温度约束结构和驱动端温度约束结构，T形加热端的横杆部间隔地嵌套于C形加热端中，以形成样品搭载区；纵杆部伸出C形加热端的开口侧并连接于内部温度约束结构，内部温度约束结构安装于凹槽的槽底；C形加热端连接于驱动端温度约束结构，驱动端温度约束结构安装于凹槽的槽口。该力热耦合微机电系统通过设置相互配合的T形加热端和C形加热端，可以减少加热区域热质，降低功率，减小热漂移，可以实现样品拉压、剪切等力学加载同时结合加热升温的原位原子分辨的力热耦合测试。
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公开(公告)号：CN118890020A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202411275939.9
申请日：2024-09-12
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明提供一种用于差分电容传感器的信号转换电路、方法及测量系统，涉及传感器测量技术领域，包括交流激励信号源、第一电阻单元、第二电阻单元和跨导放大单元；交流激励信号源与差分电容传感器的公共端连接；第一电阻单元与差分电容传感器的其中一电容桥臂连接，第二电阻单元与差分电容传感器的另一电容桥臂连接；跨导放大单元的正反相输入端分别与第一电阻单元和第二电阻单元连接。本发明设置交流激励信号源，避免对电容充电饱和的风险，将差分电容传感器的电容转换为输出差分电流，能实时体现电容量的变化，有利于长距离传输以及抑制共模噪声，提高测量系统对电容传感器的测量准确性。
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公开(公告)号：CN118666241A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410672364.8
申请日：2024-05-28
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及微机电系统技术领域，公开MEMS芯片及电子设备，包括：第一极板及第二极板沿第一方向分别布置于第一镂空区的两侧，且均与第一基板连接；第一驱动梁、第二驱动梁、第三极板及第四极板均位于第二基板的第二镂空区朝向第一基板的一侧；第一驱动梁及第二驱动梁均安装于第二基板；第一驱动梁与第三极板连接，用于驱动第三极板沿第一方向相对于第一极板运动，以调整第一极板与第三极板的第一重叠面积；第二驱动梁与第四极板连接，用于驱动第四极板沿第一方向相对于第二极板运动，以调整第四极板与第二极板的第二重叠面积。解决了现有技术中的电容式传感器存在的电容与位移的线性关系较差，测量结果的准确性及精准度较差的问题。
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公开(公告)号：CN212024767U
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN202020051727.3
申请日：2020-01-10
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本实用新型涉及高温微纳实验力学装置技术领域，公开了一种力热耦合微机电系统及原位力学平台，其中力热耦合微机电系统包括基体、T形加热端、C形加热端、内部温度约束结构和驱动端温度约束结构，T形加热端的横杆部间隔地嵌套于C形加热端中，以形成样品搭载区；纵杆部伸出C形加热端的开口侧并连接于内部温度约束结构，内部温度约束结构安装于凹槽的槽底；C形加热端连接于驱动端温度约束结构，驱动端温度约束结构安装于凹槽的槽口。该力热耦合微机电系统通过设置相互配合的T形加热端和C形加热端，可以减少加热区域热质，降低功率，减小热漂移，可以实现样品拉压、剪切等力学加载同时结合加热升温的原位原子分辨的力热耦合测试。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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