公开(公告)号：CN119124345A

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN202310690830.0

申请日：2023-06-12

Applicant: 北京振兴计量测试研究所

Inventor： 孙广尉 ,  杜继东 ,  程前 ,  邓培 ,  张徐 ,  周国澳 ,  尹亮

IPC: G01J1/42

Abstract: 本发明公开了一种真空紫外探测器线性度校准装置，包括真空紫外光源、真空紫外能量调节系统、真空紫外汇聚系统、双光阑及挡板切换机构、数据采集与综合控制系统、真空仓系统；真空紫外光源采用氘灯；真空紫外能量调节系统采用真空紫外单色仪；真空紫外汇聚系统采用透射式形式，对单色仪出射光进行能量汇聚，将汇聚光斑成像到探测器光敏面；双光阑及挡板切换机构实现光阑A+B通光、光阑A通光、光阑B通光三种通光状态；探测器的输出信号送至数据采集与综合控制系统；所述无油真空仓提供真空校准环境。实现真空紫外波段115nm～200nm的探测器进行线性度校准。

公开(公告)号：CN119124346A

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN202310696319.1

申请日：2023-06-12

Applicant: 北京振兴计量测试研究所

Inventor： 孙广尉 ,  杜继东 ,  程前 ,  邓培 ,  张徐 ,  周国澳 ,  尹亮

IPC: G01J1/42 ,  G01J1/04 ,  G01J3/28

Abstract: 本发明提供一种真空紫外滤光片式亮度计，包括依次设置在光路中的光阑(2)、滤光片轮(5)、探测器(1)、放大器(3)和采集器(4)；光路中的光阑(2)获取待测光源发出的待测光的光辐射；滤光片轮(5)用于对入射光进行分光，得到准单色光；探测器(1)用于对所述光辐射进行光电转换后输出电信号；放大器(3)用于对所述电信号进行放大；采集器(4)对放大后的电信号进行采集，根据采集的电信号计算待测光的光谱辐射亮度值。本发明用于对真空紫外波段115nm～200nm的辐射亮度进行测量，并根据采集的电信号计算待测光的光谱辐射亮度值。