公开(公告)号：CN107128873B

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201710320971.8

申请日：2017-05-09

Applicant: 北方工业大学

Inventor： 赵全亮 ,  何广平 ,  狄杰建 ,  袁俊杰 ,  宋维力 ,  侯志灵 ,  李明勇

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  H01H59/00

Abstract: 本发明公开了一种MEMS微驱动器，该MEMS微驱动器包括形成于衬底上的相互并联连接的第一传输部与第二传输部，同时接收并传输射频信号；形成于由第一传输部与第二传输部围成的区域内的支撑层与下电极，其与驱动信号相连接；形成于下电极上表面的驱动介质层；形成于驱动介质层上表面的上电极，其与接地信号相连接；以及形成于上电极上的第一开关触点与第二开关触点；其中，驱动介质层在驱动信号与所述接地信号产生的电场的作用下发生弹性形变，以使得第一开关触点和第二开关触点分别与第一传输部和第二传输部相接触，从而停止射频信号的传输。该MEMS微驱动器有效提高微驱动器的电传输信号功率处理能力，同时提高开关速度及抗环境干扰的能力。

公开(公告)号：CN107128873A

公开(公告)日：2017-09-05

申请号：CN201710320971.8

申请日：2017-05-09

Applicant: 北方工业大学

Inventor： 赵全亮 ,  何广平 ,  狄杰建 ,  袁俊杰 ,  宋维力 ,  侯志灵 ,  李明勇

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  H01H59/00

CPC classification number: B81B7/02 ,  B81B2201/03 ,  B81C1/00015 ,  B81C1/00023 ,  H01H59/0009

Abstract: 本发明公开了一种MEMS微驱动器，该MEMS微驱动器包括形成于衬底上的相互并联连接的第一传输部与第二传输部，同时接收并传输射频信号；形成于由第一传输部与第二传输部围成的区域内的支撑层与下电极，其与驱动信号相连接；形成于下电极上表面的驱动介质层；形成于驱动介质层上表面的上电极，其与接地信号相连接；以及形成于上电极上的第一开关触点与第二开关触点；其中，驱动介质层在驱动信号与所述接地信号产生的电场的作用下发生弹性形变，以使得第一开关触点和第二开关触点分别与第一传输部和第二传输部相接触，从而停止射频信号的传输。该MEMS微驱动器有效提高微驱动器的电传输信号功率处理能力，同时提高开关速度及抗环境干扰的能力。