公开(公告)号：CN117929786B

公开(公告)日：2024-10-25

申请号：CN202410003941.4

申请日：2024-01-03

Applicant: 北方工业大学

Inventor： 张萌颖 ,  宋仙钊 ,  王超 ,  赵全亮 ,  何广平 ,  袁俊杰 ,  赵磊

IPC: G01P15/18 ,  G01P15/03

Abstract: 本发明提供一种光干涉式微集成三轴加速度传感结构及其解算方法，包括自下向上依次布置的三轴加速度同步敏感结构、阵列光栅结构和光电检测阵列结构；三轴加速度同步敏感结构包括固定框架、特异敏感弹性梁、台阶式质量块和反光膜。具有以下优点：(1)该设计以单一敏感结构同时响应并实现3个轴向加速度测量，相对于常规阵列集成3方向加速度传感单元的传感系统进一步提高了集成度。并且，本发明测量结果更为准确。(2)采用光栅干涉式位移测量方法，结合阵列光栅结构和光电检测阵列结构构建检测敏感结构上多位点位移的阵列化传感结构，进一步提高整个三轴加速度传感模块的集成度。

公开(公告)号：CN117929786A

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202410003941.4

申请日：2024-01-03

Applicant: 北方工业大学

Inventor： 张萌颖 ,  宋仙钊 ,  王超 ,  赵全亮 ,  何广平 ,  袁俊杰 ,  赵磊

IPC: G01P15/18 ,  G01P15/03

Abstract: 本发明提供一种光干涉式微集成三轴加速度传感结构及其解算方法，包括自下向上依次布置的三轴加速度同步敏感结构、阵列光栅结构和光电检测阵列结构；三轴加速度同步敏感结构包括固定框架、特异敏感弹性梁、台阶式质量块和反光膜。具有以下优点：(1)该设计以单一敏感结构同时响应并实现3个轴向加速度测量，相对于常规阵列集成3方向加速度传感单元的传感系统进一步提高了集成度。并且，本发明测量结果更为准确。(2)采用光栅干涉式位移测量方法，结合阵列光栅结构和光电检测阵列结构构建检测敏感结构上多位点位移的阵列化传感结构，进一步提高整个三轴加速度传感模块的集成度。