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公开(公告)号:CN109850950A
公开(公告)日:2019-06-07
申请号:CN201811525479.5
申请日:2018-12-13
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种由钡铁氧体和碳纳米管复合的吸波材料的制备方法。其制备方法包括制备钡铁氧体、复合、冷凝回流、洗涤等步骤。本方法采用溶胶-凝胶自燃烧法制备钡铁氧体,所得了颗粒均一的纳米钡铁氧体颗粒,其具有较好的磁学性能性能,最后采用硅烷偶联剂将其与碳纳米管复合,并且该方法工艺简单,可得到性能较好的复合吸波材料。
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公开(公告)号:CN107331487A
公开(公告)日:2017-11-07
申请号:CN201710469224.0
申请日:2017-06-20
Applicant: 华南理工大学
CPC classification number: H01C7/006 , H01C17/003 , H01C17/12
Abstract: 本发明公开了一种用于高温环境的TaN薄膜电阻及其制备方法。该TaN薄膜电阻从下到上依次由基板、电阻膜、过渡金属层和电极连接组成;过渡金属层和电极分别有两个,两个过渡金属层分别设置在电阻膜的两侧;两个电极分别附着在两个过渡金属层上表面;电阻膜附着在基板上表面;电阻膜为TaN电阻膜,电阻薄膜的厚度为100-200nm;与过渡金属层相接之处的电阻膜设有沟槽或孔洞。本发明金属层与电阻层形成嵌入式的三维接触方式,在高温下使用时,由于电阻层和金属层均会受热膨胀,因此在嵌入的位置金属层与电阻层会互相挤压而紧密接触,避免了金属层的剥离引起的失效,从而电阻具有更好的热稳定性和可靠性。
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公开(公告)号:CN107331487B
公开(公告)日:2019-04-09
申请号:CN201710469224.0
申请日:2017-06-20
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种用于高温环境的TaN薄膜电阻及其制备方法。该TaN薄膜电阻从下到上依次由基板、电阻膜、过渡金属层和电极连接组成;过渡金属层和电极分别有两个,两个过渡金属层分别设置在电阻膜的两侧;两个电极分别附着在两个过渡金属层上表面;电阻膜附着在基板上表面;电阻膜为TaN电阻膜,电阻薄膜的厚度为100‑200nm;与过渡金属层相接之处的电阻膜设有沟槽或孔洞。本发明金属层与电阻层形成嵌入式的三维接触方式,在高温下使用时,由于电阻层和金属层均会受热膨胀,因此在嵌入的位置金属层与电阻层会互相挤压而紧密接触,避免了金属层的剥离引起的失效,从而电阻具有更好的热稳定性和可靠性。
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