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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117346682A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202311204596.2
申请日：2023-09-18
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24 , G01B9/02001 , G01B9/02017 , G01B9/02055
Abstract: 本发明公开了一种利用虚拟参考面的白光干涉测量装置及方法，该装置包括：用于产生测量所需照明的白光照明单元，用于构造虚拟参考面并产生参考光的参考光路，用于获取带有待测物体表面形貌信息测试光的测试光路，用于对虚拟参考面以及待测物体表面成像形成白光干涉条纹的成像光路。本发明既能实现物体表面粗糙度的高精度测量，又能实现大口径高纵深物体的形貌测量。
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公开(公告)号：CN118129635A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410083358.9
申请日：2024-01-19
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24 , G01B9/02015
Abstract: 本发明公开了一种利用面激光的双通道时序差分动态白光干涉测量装置及方法，装置包括：白光照明单元，用于产生形貌测量所需的白光；面激光照明单元，用于产生振动监控所需的面激光面；白光测试单元，用于产生参考白光和包含待测物件信息的测试光；激光辅助单元，用于产生辅助的参考激光；白光干涉成像单元，用于接收白光干涉条纹信息，并对待测物体进行成像；面激光干涉成像单元，用于接收面激光干涉条纹信息，并对待测物体进行成像。本发明利用面激光照明和复合干涉参考配置构造振动测试通道，并通过多腔复合干涉条纹的时序差分、空间移相分析解算出每一帧的振动倾斜相位，与白光相位测试通道相结合，从而实现振动环境下多样化高端精密器件的高精度动态白光干涉测量问题。
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公开(公告)号：CN117308816A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311197267.X
申请日：2023-09-18
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24 , G01B9/02001 , G01B9/02015 , G01B9/02017
Abstract: 本发明公开了一种大口径高纵深的白光干涉测量装置及方法，所述装置包括：白光照明单元，用于产生测量所需的白光；参考光路，用于产生干涉所需的参考光；测试光路，用于产生包含待测物件信息的测试光；干涉成像单元，用于接收白光干涉条纹信息，并对待测物体进行成像；位移检测单元，用于检测白光干涉测量装置的扫描位置；整体装置能沿竖直方向进行上下推扫，实现对待测物体表面形貌不同高度位置进行干涉条纹成像。本发明能实现对大口径高纵深物体形貌的精确测量。
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公开(公告)号：CN118859517A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410859544.7
申请日：2024-06-28
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种相位恢复波前测量中的轴向距离校正方法。该方法利用非线性优化解析梯度公式对轴向距离进行校正，实现了轴向距离的自动确定，克服了离轴距离不精确造成的波前重构不精确的问题。通过对一个目标函数求导进行轴向距离优化，实现了轴向距离的精确重建。本发明实现了相位恢复波前测量中的轴向距离精确重建，可以在不确定轴向距离的情况下实现波前的精确重建。
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公开(公告)号：CN117781936A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202410024793.4
申请日：2024-01-08
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种低相干的光学自由曲面形貌干涉扫描测量装置及方法，该装置包括：用于产生一对光程差可调的正交偏振光的低相干照明系统，用于产生参考光束和测试光束的干涉发生系统，用于控制待测件进行三维形貌扫描干涉测量的扫描系统，用于干涉条纹成像接收的成像系统。本发明无需像差补偿器，不受干涉回程误差影响，且具有高精度、高灵活性、成本低等优点，能够有效用于光学自由曲面三维形貌的高精度测量。
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