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公开(公告)号：CN117164928A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202311089360.9
申请日：2023-08-28
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种图案化ZIF‑8薄膜及其制备方法，制备方法包括以下步骤：配置锌基树脂前驱体溶液；使用旋涂机将锌基树脂前驱体溶液均匀地扩散到硅片表面并成膜，然后使用长波紫外线透过图案化掩模版对硅片表面的膜进行照射，使硅片表面膜固化生成图案化丙烯酸锌‑丙烯酸共聚物有机膜，然后对图案化丙烯酸锌‑丙烯酸共聚物有机膜进行洗涤处理；采用高温热处理法将图案化丙烯酸锌‑丙烯酸共聚物有机膜转化为图案化多孔氧化锌薄膜；采用化学气相沉积法将图案化多孔氧化锌薄膜和2‑甲基咪唑粉末进行反应转化为图案化ZIF‑8薄膜。本发明公开的一种图案化ZIF‑8薄膜及其制备方法，无需使用常规光刻工艺的光刻胶，制备工艺简单，原材料利用率高，几乎无副反应产物及工业废料。
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公开(公告)号：CN116713170A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202310679553.3
申请日：2023-06-09
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明属于金属半导体薄膜技术领域，公开了一种多孔ZnO薄膜的制备方法，将丙烯酸锌和2‑甲基咪唑加入到丙烯酸中经磁力搅拌并超声震荡后得到混合溶液；再将苯偶酰和光引发剂加入到混合溶液中再次磁力搅拌并超声震荡后均匀形成锌基光固化树脂前驱体；使用旋涂机将锌基光固化树脂前驱体均匀地旋涂到硅片上，使用长波紫外线照射，生成丙烯酸锌‑丙烯酸共聚物有机膜；采用热处理法将丙烯酸锌‑丙烯酸共聚物有机膜转化为多孔ZnO薄膜。该方法制备工艺简单，原材料利用率高，几乎无副反应产物及工业废料，制备的多孔ZnO薄膜厚度均匀可控，且具有较好的表面形貌。
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公开(公告)号：CN116713170B
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202310679553.3
申请日：2023-06-09
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明属于金属半导体薄膜技术领域，公开了一种多孔ZnO薄膜的制备方法，将丙烯酸锌和2‑甲基咪唑加入到丙烯酸中经磁力搅拌并超声震荡后得到混合溶液；再将苯偶酰和光引发剂加入到混合溶液中再次磁力搅拌并超声震荡后均匀形成锌基光固化树脂前驱体；使用旋涂机将锌基光固化树脂前驱体均匀地旋涂到硅片上，使用长波紫外线照射，生成丙烯酸锌‑丙烯酸共聚物有机膜；采用热处理法将丙烯酸锌‑丙烯酸共聚物有机膜转化为多孔ZnO薄膜。该方法制备工艺简单，原材料利用率高，几乎无副反应产物及工业废料，制备的多孔ZnO薄膜厚度均匀可控，且具有较好的表面形貌。
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