公开(公告)号：CN117157575A

公开(公告)日：2023-12-01

申请号：CN202280025627.5

申请日：2022-01-28

Applicant: 南安普敦大学

Inventor： 张巍巍 ,  G·利德 ,  D·汤姆森 ,  M·艾伯特 ,  斎藤慎一

IPC: G02F1/025

Abstract: 一种用于在光子电路中调制光的谐振器调制器(10)，所述调制器包括：电容器，所述电容器由夹置在外导电区域(101a)与内导电区域(101b)之间的环形绝缘区域(102)形成，其中所述外导电区域(101a)或所述内导电区域(101b)中的至少一者是多晶半导体材料。

公开(公告)号：CN113811802A

公开(公告)日：2021-12-17

申请号：CN202080031337.2

申请日：2020-04-24

Applicant: 南安普敦大学

Inventor： D·汤姆森 ,  G·里德 ,  W·W·张 ,  M·艾伯特

IPC: G02B6/122 ,  G02B6/14

Abstract: 本发明提供光子芯片，包括：硅衬底、在硅衬底上方的低折射率层和在低折射率层上方的锥形波导，锥形波导在锥形波导的第一端部处具有第一高度，并且在锥形波导的第二端部处具有第二高度，第二高度大于第一高度，并且锥形波导具有底表面，其在第二端部处比在第一端部处更靠近衬底。本发明还提供制造光子芯片的方法，该方法包括：提供包括硅衬底和在硅衬底上方的低折射率层的晶片，蚀刻低折射率层以形成锥形沟槽，锥形沟槽在锥形沟槽的第一端部处具有第一高度，并且在锥形沟槽的第二端部处具有第二高度，第一第二高度大于第二第一高度，并且锥形沟槽具有底表面，其在第一第二端部处比在第二第一端部处更靠近衬底，以及在锥形沟槽中形成锥形波导。