公开(公告)号：CN119179139A

公开(公告)日：2024-12-24

申请号：CN202311565302.9

申请日：2023-11-22

Applicant: 南通大学

Inventor： 赵继聪 ,  林叶繁 ,  党岩盟 ,  侯海洋 ,  孙海燕

IPC: G02B6/35 ,  B81B7/02

Abstract: 本申请属于射频MEMS器件领域，涉及一种基于等离子体吸收器的微机械光开关。包括：顶部驱动结构，包括悬臂结构和表面等离子体红外吸收结构；底部电极结构；支撑结构；设置于所述底部电极结构的上表面，使所述顶部驱动结构与所述底部电极结构之间形成空腔。本申请的微机械光开关，采用等离子体红外吸收结构实现对特定波长红外信号的近完美吸收，同时采用折形悬臂结构提供更大的弹性系数和更低的等效刚度，实现具有高探测率和高响应率的微机械光开关，使得不需要频繁维护的独立传感器成为可能，对于无线传感网络具有重要的应用前景。

公开(公告)号：CN118300593A

公开(公告)日：2024-07-05

申请号：CN202410462392.7

申请日：2024-04-17

Applicant: 南通大学

Inventor： 赵继聪 ,  侯海洋 ,  党岩盟 ,  林叶繁 ,  孙海燕

IPC: H03K17/94 ,  H03K17/78 ,  H03K17/14 ,  H03K19/00 ,  H03K17/51

Abstract: 本申请属于射频MEMS器件领域，涉及一种近零功率的微机械光开关。包括：驱动结构；悬臂结构；支撑结构和底电极结构。本专利申请的近零功率微机械光开关改变悬臂的高低热膨胀系数材料的排列位置，使悬臂的驱动的方式发生改变，平衡了驱动结构热膨胀对悬臂驱动的影响。左端闭合的方式，也让悬臂与驱动结构的连接点到开关左端闭合点之间形成力臂，提高了悬臂产生机械位移的利用率，降低了所需的阈值功率。所述驱动结构采用对称堆叠方式，平衡了由材料热膨胀导致的顶电极的应力弯曲，提升了顶电极的平整度，提高光开光闭合的准确性。实现具有高探测率和高响应率的近零功率微机械光开关。对于无线传感网络的发展，具有重要的应用前景。