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公开(公告)号:CN101312749A
公开(公告)日:2008-11-26
申请号:CN200680043940.2
申请日:2006-09-15
Applicant: 卡伯特微电子公司
CPC classification number: C08F2/54 , A23L3/263 , A61L2/08 , A61L2/082 , C02F1/30 , C08K3/04 , H01J35/04 , H01J35/065 , H01J35/12 , H01J35/16 , H01J2235/068 , H01J2235/087 , H01J2235/163
Abstract: 本发明涉及一种新的x射线处理系统,其利用引导至目标区(829)中的一个或多个大面积平板x射线辐射源(821,823,825,827)。以来自该一个或多个平板源的x射线辐射(831,833,835,837)来照射该目标区内的目标物,从而降低该目标物中的污染物存在的生物效应。该平板源包含电子源、电子加速器及电子目标介质。该电子源可经由场发射或热离子发射来发射电子。该x射线源可以透射、反射或组合的透射/反射模式来操作。在本发明的系统中使用大面积平板x射线源允许降低安装及操作成本以及提高效率。