公开(公告)号：CN107004551B

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201580068638.1

申请日：2015-12-03

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： M.阿利曼 ,  钟显耀 ,  G.费多森科 ,  R.罗伊特 ,  A.劳厄 ,  A.冯科伊德尔 ,  M.伯克 ,  T.本特 ,  J.温特 ,  P.阿瓦科维茨 ,  L.戈尔霍弗

IPC: H01J27/08 ,  H01J37/08 ,  H01J49/12 ,  H01J49/14

Abstract: 本发明关于一种离子化装置(1)，其包括：等离子体产生装置(4)，在初级等离子体区(9)中产生亚稳粒子(6a)和/或离子(6b)；场产生装置(13)，在次级等离子体区(10)中产生辉光放电(12)；进气口(2)，将待离子化的气体(3)供应入次级等离子体区(10)；以及另一进气口(5)，将离子化气体(6)的亚稳粒子(6a)和/或离子(6b)供应入次级等离子体区(10)。本发明还关于一种质谱仪(20)，包含此种离子化装置(1)；以及检测器(17)，其设置于离子化装置(1)的排气口(16)下游，用于该离子化的气体(3a、3a′)的质谱分析。

公开(公告)号：CN107004551A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580068638.1

申请日：2015-12-03

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： M.阿利曼 ,  钟显耀 ,  G.费多森科 ,  R.罗伊特 ,  A.劳厄 ,  A.冯科伊德尔 ,  M.伯克 ,  T.本特 ,  J.温特 ,  P.阿瓦科维茨 ,  L.戈尔霍弗

IPC: H01J27/08 ,  H01J37/08 ,  H01J49/12 ,  H01J49/14

CPC classification number: H01J49/145 ,  H01J27/08 ,  H01J37/08 ,  H01J49/12

Abstract: 本发明关于一种离子化装置(1)，其包括：等离子体产生装置(4)，在初级等离子体区(9)中产生亚稳粒子(6a)和/或离子(6b)；场产生装置(13)，在次级等离子体区(10)中产生辉光放电(12)；进气口(2)，将待离子化的气体(3)供应入次级等离子体区(10)；以及另一进气口(5)，将离子化气体(6)的亚稳粒子(6a)和/或离子(6b)供应入次级等离子体区(10)。本发明还关于一种质谱仪(20)，包含此种离子化装置(1)；以及检测器(17)，其设置于离子化装置(1)的排气口(16)下游，用于该离子化的气体(3a、3a′)的质谱分析。