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公开(公告)号：CN1965259A
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：CN200580018858.X
申请日：2005-04-07
Applicant: 卡尔蔡司SMT股份公司
Inventor： A·埃普勒
CPC classification number: G02B17/0804 , G02B17/0808 , G02B17/0812 , G02B17/0816 , G02B17/0836 , G02B17/0844 , G02B17/0848 , G02B17/086 , G02B17/0892 , G03F7/70058 , G03F7/70225 , G03F7/70275 , G03F7/70341
Abstract: 一种反射折射投影物镜，用于将布置在投影物镜的物面内的离轴有效物场成像至布置在所述投影物镜的像面内的离轴有效像场上，其包括：光轴；有效物场，完全位于所述光轴外部，沿第一方向具有长度A并沿与所述第一方向垂直的第二方向具有宽度B，使得包围所述有效物场的尺寸最小的圆形区域根据(I)定义所述有效物场的半径REOF；圆形设计物场，以所述光轴为中心，具有设计物场半径RDOF，其中所述投影物镜在径向坐标小于RDOF的区域内基本上得到图像像差校正，且其中所述投影物镜在径向坐标大于RDOF的区域没有得到完全校正。下述条件：RDOF＝γREOF且1≤γ＜1.4得以满足。采用紧凑设计可实现非常高的像侧数值孔径NA＞1。优选使用弓形有效物场。
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公开(公告)号：CN1985206A
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：CN200580023994.8
申请日：2005-05-13
Applicant: 卡尔蔡司SMT股份公司
CPC classification number: G03F7/70058 , G02B17/06 , G02B17/08 , G02B17/0804 , G02B17/0892 , G03F7/7015 , G03F7/70225 , G03F7/70275
Abstract: 一种反射折射投影物镜，用于将布置在投影物镜的物面上的图案成像在投影物镜的像面上，具有用于物场的成像以形成第一真实的中间图像的第一物镜部分，利用来自第一物镜部分的辐射产生第二真实的中间图像的第二物镜部分；以及将第二真实的中间图像成像在像面上的第三物镜部分。第二物镜部分是具有凹面镜的反射折射物镜部分。提供沿凹面镜的方向偏转来自物面的辐射的第一折叠式反射镜和沿像面的方向偏转来自凹面镜的辐射的第二折叠式反射镜。在接近于第一中间图像的场的区域中，具有正折射本能的场透镜布置在第一中间图像和/或第一折叠式反射镜和凹面镜之间。
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公开(公告)号：CN100483174C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200580023994.8
申请日：2005-05-13
Applicant: 卡尔蔡司SMT股份公司
CPC classification number: G03F7/70058 , G02B17/06 , G02B17/08 , G02B17/0804 , G02B17/0892 , G03F7/7015 , G03F7/70225 , G03F7/70275
Abstract: 一种反射折射投影物镜，用于将布置在投影物镜的物面上的图案成像在投影物镜的像面上，具有用于物场的成像以形成第一真实的中间图像的第一物镜部分，利用来自第一物镜部分的辐射产生第二真实的中间图像的第二物镜部分；以及将第二真实的中间图像成像在像面上的第三物镜部分。第二物镜部分是具有凹面镜的反射折射物镜部分。提供沿凹面镜的方向偏转来自物面的辐射的第一折叠式反射镜和沿像面的方向偏转来自凹面镜的辐射的第二折叠式反射镜。在接近于第一中间图像的场的区域中，具有正折射本能的场透镜布置在第一中间图像和/或第一折叠式反射镜和凹面镜之间。
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公开(公告)号：CN1910494A
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN200580002499.9
申请日：2005-01-13
Applicant: 卡尔蔡司SMT股份公司
CPC classification number: G03F7/70958 , G02B13/22 , G02B17/0812 , G02B17/0892 , G03F7/70225 , G03F7/70275 , G03F7/70341 , G03F7/70966
Abstract: 一种反射折射投影物镜(200)，用于将提供在投影物镜的物面(201)中的图形成像在投影物镜的像面(202)上，包括：第一物镜部分(210)，用于将提供在物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分(220)，用于将第一中间图像成像为第二中间图像；第三物镜部分(230)，用于将第二中间图像直接成像到像面上；其中具有第一连续镜面的第一凹面镜(221)和具有第二连续镜面的至少一个第二凹面镜(222)布置在第二中间图像的上游；光瞳面形成在物面和第一中间图像之间，形成在第一和第二中间图像之间，并且形成在第二中间图像和像面之间；所有凹面镜布置成光学远离光瞳面。该系统在适度透镜材料物质消耗的情况下具有非常高的数值孔径。
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