公开(公告)号：CN101614967A

公开(公告)日：2009-12-30

申请号：CN200910161815.7

申请日：2004-11-30

Applicant: 卡尔蔡司SMT股份公司

Inventor： J·库格勒 ,  F·索尔格 ,  A·乌尔姆布兰德 ,  T·伊特纳 ,  T·施勒特雷尔

IPC: G03F7/20 ,  G02B7/00 ,  G02B7/02 ,  G02B7/14 ,  G02B7/182 ,  G02B13/00

CPC classification number: G03F7/70191 ,  G02B7/00 ,  G02B7/02 ,  G02B7/023 ,  G02B7/14 ,  G02B13/14 ,  G03F7/7015 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/70825

Abstract: 一种用于光学元件更换设备，所述光学元件安装在光刻物镜(1)内的两个相邻光学元件(2)之间，所述更换设备具有用于要被更换的光学元件(2a)的托架(5)，所述托架(5)可以通过光刻物镜(1)的壳体(1a)内的侧面开口(6)移入到光刻物镜(1)内。

公开(公告)号：CN1906541A

公开(公告)日：2007-01-31

申请号：CN200480040835.4

申请日：2004-11-22

Applicant: 卡尔蔡司SMT股份公司 ,  ASML荷兰有限公司

Inventor： B·格尔里希 ,  A·武姆布兰德 ,  J·库格勒 ,  A·舍帕赫 ,  C·詹格林 ,  S·布鲁努格赫

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70341 ,  G03F7/7095

Abstract: 一种物镜(1)中光学元件(5)的保持器件(6)，具有一方面与物镜(1)连接、另一方面至少间接地与光学元件(5)连接的底座(4)。在底座(4)与光学元件(5)之间设置有加固元件(8)，它的热膨胀系数大致对应于光学元件(5)的热膨胀系数。

公开(公告)号：CN1898610A

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：CN200480038897.1

申请日：2004-11-30

Applicant: 卡尔蔡司SMT股份公司

Inventor： J·库格勒 ,  F·索尔格 ,  A·乌尔姆布兰德 ,  T·伊特纳 ,  T·施勒特雷尔

IPC: G03F7/20 ,  G02B13/14 ,  G02B7/02 ,  G02B7/14 ,  G02B7/00

CPC classification number: G03F7/70191 ,  G02B7/00 ,  G02B7/02 ,  G02B7/023 ,  G02B7/14 ,  G02B13/14 ,  G03F7/7015 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/70825

Abstract: 一种用于光学元件更换设备，所述光学元件安装在光刻物镜(1)内的两个相邻光学元件(2)之间，所述更换设备具有用于要被更换的光学元件(2a)的托架(5)，所述托架(5)可以通过光刻物镜(1)的壳体(1a)内的侧面开口(6)移入到光刻物镜(1)内。

公开(公告)号：CN100545754C

公开(公告)日：2009-09-30

申请号：CN200480038897.1

申请日：2004-11-30

Applicant: 卡尔蔡司SMT股份公司

Inventor： J·库格勒 ,  F·索尔格 ,  A·乌尔姆布兰德 ,  T·伊特纳 ,  T·施勒特雷尔

IPC: G03F7/20 ,  G02B13/14 ,  G02B7/02 ,  G02B7/14 ,  G02B7/00

CPC classification number: G03F7/70191 ,  G02B7/00 ,  G02B7/02 ,  G02B7/023 ,  G02B7/14 ,  G02B13/14 ,  G03F7/7015 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/70825

Abstract: 一种用于光学元件更换设备，所述光学元件安装在光刻物镜(1)内的两个相邻光学元件(2)之间，所述更换设备具有用于要被更换的光学元件(2a)的托架(5)，所述托架(5)可以通过光刻物镜(1)的壳体(1a)内的侧面开口(6)移入到光刻物镜(1)内。