公开(公告)号：CN1584536A

公开(公告)日：2005-02-23

申请号：CN200410063454.X

申请日：2004-07-05

Applicant: 卡尔蔡司SMT股份公司

Inventor： U·维格曼恩 ,  M·门格尔

IPC: G01M11/02

CPC classification number: G02B5/3058 ,  G01J4/04 ,  G02B5/1809 ,  G02B5/3091 ,  G02B27/4222 ,  G02B27/4255 ,  G02B27/4261 ,  G02B27/4277 ,  G03F7/70566 ,  G03F7/70591

Abstract: 本发明涉及一种装置，涉及带有这样装置的光学成像系统和所属的校准方法，用于偏振特定地研究光学系统，特别是通过光学成像系统的光线的偏振状态影响，所述装置带有检测器部分，所述的检测器部分具有偏振检测器装置，用于测量从光学系统发出的光线(6)的出射偏振状态。一种根据本发明的装置含有偏振检测器装置，所述的偏振检测器装置含有偏振化光栅结构(4)。所述的偏振检测装置含有双折射元件(7)，用于光线角度依赖性地延迟改变从光学系统发出的光线，并且还带有一个后置的起偏振器元件(4)。作为可替代的选择，还提出一种用于快照偏振测量的装置，设有双折射元件和后置的起偏振器元件，这适用于充分地偏振化，即使是非准平行的，以非平行的入射角从双折射元件发来的光线。应用例如是确定通过显微照像投影物镜的紫外线光线的偏振状态影响。