干膜光致抗蚀剂
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102549499B

    公开(公告)日:2013-09-11

    申请号:CN201080043646.8

    申请日:2010-09-29

    CPC classification number: G03F7/092 G03F7/027 G03F7/0752 G03F7/11

    Abstract: 本发明提供干膜光致抗蚀剂,具体而言,本发明的干膜光致抗蚀剂可在去除基膜的状态下实施曝光工艺,从而防止基膜对曝光效果的不利影响,提高分辨率。另外,即使在存在树脂保护层的状态下进行曝光,也不会因树脂保护层降低透明度和显像速度,从而可实现高分辨率。尤其是,本发明的树脂保护层可减少聚硅氧烷等润湿剂的含量,从而节省成本,降低雾度,而且,因适当粘接基膜和树脂保护层,以在去除基膜时不会损伤树脂保护层,从而防止雾度的降低,不产生显像时间的降低,实现高分辨率。

    过滤装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106102882B

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201580013128.4

    申请日:2015-03-25

    Inventor: 文熙岏

    Abstract: 本发明公开了一种过滤装置,其中,在框架结构内安装高集成的中空纤维膜组件,由此能够提高过滤系统的回收率,且能够有效地进行对高集成的所述中空纤维膜组件的曝气清洗。本发明的过滤装置包括具有第一内部空间和第二内部空间的框架结构、安装在所述第一内部空间内的第一中空纤维膜组件和安装在所述第二内部空间内的第二中空纤维膜组件。

    加压式中空纤维膜组件以及包括该组件的过滤系统

    公开(公告)号:CN104487158B

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201380038862.7

    申请日:2013-07-24

    CPC classification number: B01D63/02 B01D61/08 B01D2313/04 B01D2313/21

    Abstract: 公开了耐压力高于3kgf/cm2的加压式中空纤维膜组件以及包括该组件的过滤系统。加压式中空纤维膜组件包括:壳体,壳体包括开放端;固定构件,固定构件设置于壳体中并处于开放端;中空纤维膜,中空纤维膜插设于固定构件中;以及盖,盖处于壳体的开放端,盖和固定构件形成滤液收集空间,其中,中空纤维膜的内腔与滤液收集空间流体连通,固定构件具有台阶,从而固定构件的上部侧面不与壳体的内表面接触,并且盖的部分插入沟槽中,该沟槽由固定构件的台阶和壳体的内表面限定。

Patent Agency Ranking