公开(公告)号：CN1664985A

公开(公告)日：2005-09-07

申请号：CN200410083729.6

申请日：2004-10-14

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 许志维 ,  吕金盛 ,  徐光宏 ,  林镇雍 ,  林水典 ,  林俊宏

IPC: H01L21/00 ,  G06F17/50

CPC classification number: G05B19/41875 ,  Y02P90/22

Abstract: 一种具有防止制程污染的制造系统，其包括多个制程机台、污染属性确认系统及污染防制系统。上述制程机台用以处理在制品，其具有贡献污染属性设定值及拒绝污染属性设定值。上述污染属性确认系统用以确认上述贡献/拒绝污染属性设定值的设定为正确。上述污染防制系统于上述制程机台接受上述在制品前，检查上述在制品的第一产品污染属性设定值是否符合上述拒绝污属性设定值，并于上述制程机台接受及处理上述在制品时，根据上述贡献污染属性设定值，对上述产品污染属性设定值分别产生中途污染属性设定值及第二产品污染属性设定值。

公开(公告)号：CN1329950C

公开(公告)日：2007-08-01

申请号：CN200410083729.6

申请日：2004-10-14

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 许志维 ,  吕金盛 ,  徐光宏 ,  林镇雍 ,  林水典 ,  林俊宏

IPC: H01L21/00 ,  G06F17/50

CPC classification number: G05B19/41875 ,  Y02P90/22

Abstract: 一种具有防止制程污染的制造系统，其包括多个制程机台、污染属性确认系统及污染防制系统。上述制程机台用以处理在制品，其具有贡献污染属性设定值及拒绝污染属性设定值。上述污染属性确认系统用以确认上述贡献/拒绝污染属性设定值的设定为正确。上述污染防制系统于上述制程机台接受上述在制品前，检查上述在制品的第一产品污染属性设定值是否符合上述拒绝污属性设定值，并于上述制程机台接受及处理上述在制品时，根据上述贡献污染属性设定值，对上述产品污染属性设定值分别产生中途污染属性设定值及第二产品污染属性设定值。

公开(公告)号：CN2720520Y

公开(公告)日：2005-08-24

申请号：CN200420084411.5

申请日：2004-07-20

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 游瑛准 ,  黄启仁 ,  林镇雍 ,  郑培德 ,  林信忠 ,  孙金钏

IPC: G06K7/00 ,  G06K7/10

Abstract: 一种射频识别感应系统，包括加载控制装置、输出控制装置、感应装置、处理装置。该加载及输出控制装置分别产生加载及输出触发讯号。该感应装置读取射频识别卷标中记录的货物识别码及数据。该处理装置接收该加载触发讯号时，启动该加载指示装置及该感应装置，接收该货物识别码并将其与该加载触发讯号传送至主机系统，使得执行货物加载程序；当其接收该输出触发讯号时，启动该输出指示装置及该感应装置，接收该货物识别码并将其与该输出触发讯号传送至该主机系统，使得执行货物输出程序。