公开(公告)号：TW311688U

公开(公告)日：1997-07-21

申请号：TW084213655

申请日：1995-09-21

Applicant: 周晟

Inventor： 周令宇 ,  周晟 ,  范光照 ,  彭志光

IPC: G01B

Abstract: 本新型發明提供了一個精密的多自由度幾何誤差量測系統(MDFM)；可即時量測三次元量床 (CMM) 驅動軸移動時所發生的俯仰角(Pitch)，滾動角(Roll)，偏折角(Yaw)等偏擺誤差及兩個直線誤差，此系統的原理乃由雷射定位及自準儀改良而來，以電荷耦合元件CCD作為感測元件，提出一個新穎的定位技術。系統直線誤差的量測解析度可優於lμm ，而角度偏擺誤差的量測解析度優於0.5 arc sec。

Abstract in simplified Chinese: 本新型发明提供了一个精密的多自由度几何误差量测系统(MDFM)；可实时量测三次元量床 (CMM) 驱动轴移动时所发生的俯仰角(Pitch)，滚动角(Roll)，偏折角(Yaw)等偏摆误差及两个直线误差，此系统的原理乃由激光定位及自准仪改良而来，以电荷耦合组件CCD作为传感组件，提出一个新颖的定位技术。系统直线误差的量测分辨率可优于lμm ，而角度偏摆误差的量测分辨率优于0.5 arc sec。